納米定位臺系統(tǒng)采用納米直線位移臺和納米旋轉(zhuǎn)臺搭建成各種納米定位系統(tǒng),包含了二維XY納米定位臺,三維微操作定位臺,三維XYZ納米定位臺,多角度旋轉(zhuǎn)定位臺系統(tǒng)。
XY納米定位臺是二維電動納米定位臺,采用兩個納米線性定位器在XY方向正交堆疊組成,大可提供51x51mm^2的工作面積,可以用于超高真空環(huán)境,并可以在此基礎(chǔ)上升級到XYZ三維納米定位臺系統(tǒng)。


多角度旋轉(zhuǎn)定位臺系統(tǒng)
多角度旋轉(zhuǎn)定位臺系統(tǒng)采用SR2812納米旋轉(zhuǎn)臺提供超納米級高精度多角度定位和歐拉角定位,三個歐拉角方向都可給出納米定位精度,工作面積可覆蓋360° x 180° x 360°。該多角度旋轉(zhuǎn)定位臺系統(tǒng)可用于超高真空環(huán)境，且具有多種負(fù)載能力的配置供用戶選擇。

三維微操作定位臺
三維微操作定位臺采用2個SLL線性位移臺和1個SR7012旋轉(zhuǎn)定位臺組成,非常適合各種樣品的3D微操作定位,負(fù)載300g,在垂直,水平和任何混合方向都可提供250mm行程。這套三維微操作定位臺精度高達(dá)納米量級,可用于超高真空環(huán)境,非常適合SEM樣品定位等掃描電鏡樣品定位。
、

三維XYZ納米定位臺
三維XYZ納米定位臺采用直線納米定位臺搭建而成,可提供典型的工作面積為21 x 21 x 21 mm³，也可采用其它規(guī)格的納米定位臺組成各種XYZ三維定位臺系統(tǒng)。XYZ三維納米定位臺結(jié)構(gòu)緊湊，非常適合各種精密三維操作定位，適合超高真空環(huán)境。