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目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>光學精密機械類>>精密位移臺>> FPSMAR-wafer200晶圓芯片定位臺

晶圓芯片定位臺
  • 晶圓芯片定位臺
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 孚光精儀
  • 型號 FPSMAR-wafer200
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 上海市
屬性

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>

更新時間:2024-12-31 14:29:47瀏覽次數(shù):816評價

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晶圓定位臺Wafer200采用德國并聯(lián)機器人hexapod提供并聯(lián)動力學晶圓定位平臺功能,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。

晶圓定位臺Wafer200采用德國并聯(lián)機器人hexapod提供并聯(lián)動力學晶圓定位平臺功能,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。

晶圓定位臺Wafer200采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
晶圓芯片定位臺
晶圓定位臺Wafer200規(guī)格參數(shù)
分辨率<1nm
大負載:2000g (20N)
大真空度:10^-11mbar
大垂直載荷Fv:10N

定位器尺寸:420 x 430 x 93 mm3

重量:≈ 11 kg

行程范圍:

x- 200 mm

y -200 mm

z -10 mm
Θx:6 °
Θy:
Θz:24 °

帶納米傳感器-S閉環(huán)

小增量(x,y,z):1nm

小增量(Θx,Θy,Θz):1urad

重復精度(xyz全行程):±200 nm

重復精度(Θxyz全行程):±10urad

重復精度(1mm行程@xyz):±15 nm

材料和真空可選項目

納米級距離編碼傳感器

-高真空HV (10-6 mbar)
更多六軸并聯(lián)定位平臺應用案例
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