3D激光共聚焦形貌顯微鏡是一種高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM），用于精確可靠的三維測量，從一系列光學剖切圖像中提供目標物體的三維描述，通過該算法，橫截面圖像被直接轉(zhuǎn)換為三維輪廓數(shù)據(jù)。這種du特的原始截面圖像，直觀地解釋，使表面輪廓數(shù)據(jù)絕對*于其他光學技術。

3D激光共聚焦形貌顯微鏡特點
-高分辨率無損光學三維測量
-實時共焦成像
-各種光學變焦
-同時亮場和共焦成像
-具有精細自動聚焦的自動增益搜索
-傾斜補償
-簡易分析模式
-精密可靠的高速測高
-通過半透明基板檢查特征
-無樣品制備
-寬范圍檢測的圖像拼接
3D激光共聚焦形貌顯微鏡應用
-半導體：IC圖形，凸點高度，線圈高度，缺陷檢查，CMP工藝
-FPD產(chǎn)品：觸摸屏檢查，ITO圖案，LCD柱墊高度
-MEMS器件：結構的三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面：薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究：模具表面檢查，粗糙度，裂紋分析

3D激光共聚焦形貌顯微鏡測量表面粗糙度
3D激光共聚焦形貌顯微鏡規(guī)格參數(shù)