這款壓電變形鏡采用疊層式壓電致動器Stack actuators驅(qū)動可變形反射鏡,形成壓電驅(qū)動變形鏡系統(tǒng)。
這款壓電變形鏡采用壓電陶瓷柱（稱為致動器）粘在玻璃薄片上制成,玻璃薄片可進行反射膜鍍膜,當(dāng)執(zhí)致動器極化時,反射鏡彎曲，彎曲的方向取決于電壓極性。
壓電變形鏡是高分辨率成像和激光成像中高階像差校正的*（澤尼克系數(shù)>24）。
壓電變形鏡優(yōu)點
高階校正
壓電變形鏡具有高密度的執(zhí)行器,具有較小的執(zhí)行器間距,因此能夠很好地適應(yīng)高階像差校正（Z>>24）。
大形變行程
壓電致動器的最大行程標(biāo)準(zhǔn)為10mm，最大致動器間行程標(biāo)準(zhǔn)為2mm。
高速致動
壓電變形鏡可在高達1kHz的最高速度下工作，并具有高達15kHz的第一共振頻率。
多用途
壓電變形鏡可以使用任何類型的襯底和任何種類的涂層，因此它可以覆蓋從X射線到遠紅外的全光譜范圍。

壓電變形鏡規(guī)格參數(shù)
有效直徑                         10-100mm
致動器數(shù)量                           高達512
致動器尺寸                         ≤10mm
致動器間距                    ≤2um
頻率                                 高達1kHz（第1次共振@15kHz）
鏡片材質(zhì)                     玻璃，硅，銅，壓電陶瓷
鍍膜材質(zhì)            金屬膜、介質(zhì)膜、激光損傷高達20J/cm2（ns脈沖）
光譜范圍                122nm至10.6um