高承載直驅(qū)直線平移臺采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級分辨率。
高承載直驅(qū)直線平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及*良的長周期運(yùn)動,導(dǎo)軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
高承載直驅(qū)直線平移臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺。
高承載直驅(qū)直線平移臺可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板。
高承載直驅(qū)直線平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。

圖1：高承載直驅(qū)直線平移臺實(shí)物圖
高承載直驅(qū)直線平移臺特點(diǎn)
直接驅(qū)動無反沖backlash系統(tǒng)
+/-0.5um雙向重復(fù)定位精度
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
XY二維位移臺的正交性高達(dá)<=5arcsec
非常適合激光打標(biāo),激光鉆孔,激光劃線,激光雕刻等應(yīng)用
具有灰塵防護(hù)能力
高承載直驅(qū)直線平移臺規(guī)格1)  默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)絕對精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) ***大速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)***大加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m₀,通常是沒有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能**的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境