自動批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機AVT是自動雙盒垂直散裝晶圓轉(zhuǎn)移機,可在塑料、金屬和石英Cassettes晶圓盒的各種組合之間傳送轉(zhuǎn)移晶片。
垂直晶片轉(zhuǎn)移機實現(xiàn)Cassettes晶圓盒移動而不是晶片移動，以實現(xiàn)更安全、更清潔的晶圓傳輸。
自動批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機AVT單按鈕操作使工具易于使用,是一種高可靠性、低維護的系統(tǒng)。為ISO 3級（FS209E 1級）設(shè)計；抗靜電結(jié)構(gòu)。
晶片接觸材料：抗靜電聚丙烯和縮醛，這是高純度材料，具有良好的耐磨性、良好的熱性能和優(yōu)異的耐化學性。
自動批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機AVT特點：
一次傳送25個晶片。
30秒的循環(huán)時間。
升降梳由防靜電縮醛材料制成。
固定梳由黑色縮醛制成。
自動批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機AVT規(guī)格參數(shù)