正性光刻膠板是正色調(diào)光致抗蝕劑positive tone photoresist,在玻璃襯底上鍍膜,形成均勻的光膠層,正性光刻膠板類似于Shipley S1800系列光致抗蝕劑,可產(chǎn)生**的結(jié)構(gòu)。
正性光刻膠板非常適合3D全息光刻制版應(yīng)用.
正性光刻膠板PHOTO-R光刻膠板是涂有光致抗蝕劑的玻璃板。 不使用旋涂，因此這些光刻膠板在整個(gè)板表面上具有均勻的光致抗蝕劑層厚度。
正性光刻膠板可記錄深度3D圖像全息圖,它產(chǎn)生比Spipley光致抗蝕劑**的結(jié)果 .
正性光刻膠板的光致抗蝕劑是一種正聚合物質(zhì) - 即在暴露于短波長的光之后它變得可溶于某種溶劑。
正性光刻膠板光致抗蝕劑層涂層通常為1-1.5μm厚,適合連續(xù)CW和脈沖激光照射,對于連續(xù)CW的440nm脈沖激光照射曝光的靈敏度約為?1.5mJ/cm 2，對于440nm脈沖激光照射曝光的靈敏度約為?12-15mJ / cm 2，在以1:9稀釋在去離子水中的AZ303顯影劑中曝光30秒后進(jìn)行處理。
正性光刻膠板訂購規(guī)格
尺寸200x250mm，每包10片
尺寸250x300mm，每包4片
正性光刻膠板規(guī)格參數(shù)
曝光靈敏度: 30mJ/cm2
分辨率：1500l/mm
光膠厚度: ?2µm
襯底玻璃板厚度: 2-3mm
保存濕度：<50%
存儲溫度: 25°C±1°C.