BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
BALLUFF位移傳感器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內部的CCD線性相機接收,根據不同的距離,CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點。根據這個角度及已知的激光和相機之間的距離,數字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離。 同時,光束在接收元件的位置通過模擬和數字電路處理,并通過微處理器分析,計算出相應的輸出值,并在用戶設定的模擬量窗口內,按比例輸出標準數據信號。如果使用開關量輸出,則在設定的窗口內導通,窗口之外截止。另外,模擬量與開關量輸出可獨立設置檢測窗口。 采取三角測量法的激光位移傳感器zui高線性度可達1um,分辨率更是可達到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器,它可以達到0.01%高分辨率,0.1%高線性度,9.4KHz高響應,適應惡劣環(huán)境。
BALLUFF位移傳感器只要是有定周期的曲線簇重疊起來,便會產生莫爾條紋。計量光柵在實際應用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線,a為刻線寬,b為兩刻線之間縫寬,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移,需要兩塊光柵。塊光柵稱為主光柵,它的大小與測量范圍相致;另塊是很小的塊,稱為指示光柵。為了測量位移,必須在主光柵側加光源,在指示光柵側加光電接收元件。當主光柵和指示光柵相對移動時,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動,固定在指示光柵側的光電元件,將光強變化轉換成電信號。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號為脈動信號。如圖 1,此信號是直流信號和近視正弦的周期信號的疊加,周期信號是位移x的函數。每當x變化個光柵柵距W,信號就變化個周期,信號由b點變化到b’點。由于bb’=W,故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)*樣,只是在相位上增加了2π。
BALLUFF位移傳感器在實際應用中,位移具有兩個方向,即選定個方向后,位移有正負之分,因此用個 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02,經過整形后得到兩個方波信號u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u02 90度,反向移動時u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
細分技術
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當的措施對莫爾條紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號變化個周期內,發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當量。如個周期內發(fā)出n個脈沖,則可使測量精度提高n備,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。 通常用的有兩種細分方法:其、直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號,實現四倍頻細分。其二、電路細分。
BALLUFF位移傳感器的功能在于把直線機械位移量轉換成電信號。為了達到這效果,通常將可變電阻滑軌定置在傳感器的固定部位,通過滑片在滑軌上的位移來測量不同的阻值。傳感器滑軌連接穩(wěn)態(tài)直流電壓,允許流過微安培的小電流,滑片和始端之間的電壓,與滑片移動的長度成正比。將傳感器用作分壓器可zui大限度降低對滑軌總阻值性的要求,因為由溫度變化引起的阻值變化不會影響到測量結果。 /39529839/39529830:單榮兵
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