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BAG302 中到超高真空真空計
INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的廣泛測量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計 BAG302 能夠輕松地更換雙絲極傳感器、內(nèi)置 OLED 顯示器、設(shè)定點繼電器和對數(shù)線性模擬輸出以及集成 RS485 數(shù)字接口,提高了集成靈活性。這些功能配以堅固的設(shè)計,使 BAG302 為其自身的基本壓力測量儀器帶來經(jīng)濟且可重復(fù)的過程,并提供高價值/低擁有成本的選擇。
好處
1,測量范圍從 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9至 5 × 10-2Torr)
2,雙標準長使用壽命氧化釔銥絲
3,一體式主動測量儀,內(nèi)置顯示器、設(shè)定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數(shù)字接口
4,帶鍵盤的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏,簡化設(shè)置、操作和編程
5,用戶可編程的設(shè)定點繼電器
6,用戶可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa
7,用戶可選的發(fā)射電流自動設(shè)換范圍
8,機械強度和堅固性
9,各種法蘭的選擇
10,易于更換的傳感元件
11,合規(guī)和標準:CE、RoHS
12,直接取代 Granville-Phillips®354 Micro-Ion®模塊 – 包括軟件命令在內(nèi)的相同控制功能 (RS485)(Granville-Phillips®和 Micro-Ion®是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊商標)
新聞
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典型應(yīng)用
1,對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
2,工業(yè)鍍膜
3,低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
BAG302 中到超高真空真空計
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