共聚焦技術(shù)，使確定可靠的測量數(shù)據(jù)獨立的表面的反射的程度。對納米焦點技術(shù)µsurf的光學(xué)方法，µscan和µsprint也使明智的表面無損檢測在生產(chǎn)和加工的不同階段。涂層表面層厚度的測定測量也是可能的。共聚焦顯微鏡TCS SP8包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多針孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī)。LED源通過多針孔盤和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的針孔減小到聚焦的部分，這落在CCD相機(jī)上。來自傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。相反，在共焦圖像中，通過多針孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）。只有來自焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)，因此共聚焦顯微鏡TCS SP8能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。