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電磁閥閥芯檢

時間：2014-4-10閱讀：1758
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 一、 電磁閥閥芯檢漏原因:

　　由于半導體工業(yè)上用的氣體如硅烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品zui終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達到了.

　　二、 電磁閥閥芯檢漏方法

　　大概的檢測過程為:來料用放大鏡目視檢測,激光焊接完成后再目視檢測,zui后用氦氣質(zhì)譜檢漏儀做zui后檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的數(shù)據(jù)為準.

　　三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

　　1),先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.

　　2),啟動氦質(zhì)譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.

　　3),在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

　　4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象質(zhì)量不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢對象合格,檢漏檢測完成.

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