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商鋪：http://true-witness.com/st121773/
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供求商機(jī)
EMS550離子濺射鍍膜儀
- 發(fā)布日期：
- 有效日期：
- 所 在 地：
- 產(chǎn) 地：
- 已獲點(diǎn)擊：
- 2024年8月11日
- 2025年2月11日
- 北京北京市
- 美國
- 403次
【產(chǎn)品簡介】
非常適合實(shí)驗(yàn)室科學(xué)研究的一款鍍膜儀器，精確、穩(wěn)定、耐用。
【詳細(xì)說明】
什么是離子濺射鍍膜？
在陽極與陰極之間使用合適的氣體（常用的是氬氣）和電壓，當(dāng)出現(xiàn)輝光放電時(shí)，陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標(biāo)材料，這個(gè)過程就叫離子濺射。其結(jié)果是濺射出來的原子（陰極材料）將在樣本（通常樣本固定于陽極上）表面形成一層薄膜，均勻分布在樣本的表面。
陰極材料通常使用金，習(xí)慣稱之為金靶。
EMS550離子濺射鍍膜儀
EMS 550具有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可傾斜，適合各種樣品。參數(shù)可預(yù)設(shè)，全自動(dòng)控制保證獲得精確的鍍層厚度。 低電壓濺射、冷濺射、精細(xì)顆粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm（6英寸），非常方便裝載及移走樣品。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶（可選）。可選靶材包括金/鈀，鉑/鈀和鉑。 各種功能都集中設(shè)計(jì)在儀表板上，使用方便，滿足不同學(xué)科的用戶使用要求。 濺射參數(shù)可預(yù)設(shè)，包括氣體放氣針閥（此閥為電磁閥），一旦設(shè)置，就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖，系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。
本儀器為全自動(dòng)操作，可控制獨(dú)立的真空泵。
| 性能特征 o 復(fù)合樣本固定器 o 旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺(tái) o 全自動(dòng)控制 o 低耗冷卻系統(tǒng)，無需冷卻樣本及樣品臺(tái) o 低壓濺射 o 高質(zhì)量鍍層厚度（2nm 金膜）. o 精確的可重復(fù)性能 o 均勻沉積厚度（20nm或20埃） o 微電子控制 o 聚碳酸脂安全殼體 |
| 性能參數(shù)： 1.儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H 2.工作腔室：硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.安全鐘罩：聚碳酸酯 4.重量：18公斤 5.靶：60 mm 直徑 x 0.1mm 厚（金靶為標(biāo)準(zhǔn)靶面） 6.樣品臺(tái)直徑為60 mm，靶面距在25mm－45mm之間可調(diào) 7.真空范圍：ATM-1x10-2 mbar 8.沉積電流范圍：0-50mA 9.沉積速率：0-25nm/分 10.濺射時(shí)間：0-4 分鐘 11.預(yù)設(shè)置針閥：控制氬 12.電源：230 伏 50Hz （10 amp max. including Pump） 定購說明： 名稱：EMS550離子濺射鍍膜機(jī) 名稱：EMS500離子濺射鍍膜機(jī) EMS500為EMS550的的手動(dòng)型號(hào)（無旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)），其它參數(shù)均同。 |