陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司
中級會員 | 第17年

15309236700

顆粒計數(shù)器
粒液體粒子計數(shù)器 水中顆粒物分析儀 不溶性微粒檢查儀 液體顆粒計數(shù)器 顆粒傳感器 油液污染度檢測儀 不溶性微粒分析儀 除塵箱 電子半導(dǎo)體粒子計數(shù)儀 顆粒計數(shù)器 過濾膜過濾效率評價儀 水中顆粒物計數(shù)器 研磨液顆粒計數(shù)分布儀 光阻法不溶性微粒檢測儀 光散射法顆粒計數(shù)器 光阻法顆粒計數(shù)器 電阻法顆粒計數(shù)器 微納米顆粒檢測儀 油料多元素發(fā)射光譜分析系統(tǒng) 油液顆粒計數(shù)器 顆粒度檢測儀 汽車尾氣分析儀 顆粒計數(shù)儀 顆粒計數(shù)系統(tǒng) 油液顆粒度分析儀 便攜式顆粒計數(shù)器 在線顆粒計數(shù)器 油液顆粒度檢測儀 顆粒度瓶 油液取樣器 汽車零部件油液顆粒計數(shù)器
石油儀器
密度計 采樣器 水分傳感器 傳感器 污染度分析儀 分析儀器 鐵譜儀 全自動閉口閃點(diǎn)測定儀 石油產(chǎn)品全自動酸值分析儀 高精度手持式數(shù)字U型振蕩法密度計 冷濾點(diǎn)測試儀 潤滑油測試儀 運(yùn)動粘度測定器 凝點(diǎn)測試儀 蒸餾測定儀餾程測定器 石油產(chǎn)品凝點(diǎn)測定器 柴油冷濾點(diǎn)測定器 超越型粘度分析儀 落球雙管快速粘度計 防爆手持式密度計 石油產(chǎn)品自燃點(diǎn)測定器 液體石油產(chǎn)品烴類測定器 低溫多功能測定器 潤滑油泡沫特性測定器 石油合成液抗乳化性能測定器 旋轉(zhuǎn)粘度儀/粘度測定器 石油產(chǎn)品酸值測定器 深色石油硫含量測定器(管式爐法) 油料中沉淀物測定器 鹽含量測定器 石油產(chǎn)品苯胺點(diǎn)測定器 十六烷指數(shù)計算器 餾分燃料油氧化安定性測定器 潤滑脂錐入度測定器 潤滑脂氧化安定性測定器 殘?zhí)紲y定器(康氏法) 石油產(chǎn)品灰分測定器 汽油辛烷值分析儀 潤滑油凝點(diǎn)測定器 水溶性酸及堿測定器 潤滑油銹蝕測定器 石油產(chǎn)品機(jī)械雜質(zhì)測定器 燃料油實(shí)際膠質(zhì)測定器 潤滑油氧化安定性測定器 潤滑脂抗水淋性能測定器 石油產(chǎn)品閃點(diǎn)與燃點(diǎn)測定器(克利夫蘭開口杯法) 全自動開口閃點(diǎn)測定器 石油產(chǎn)品密度計算器 全自動開閉口閃點(diǎn)測定器 潤滑油/脂測試儀 運(yùn)動粘度/密度儀 油品燃點(diǎn)/閃點(diǎn)測試儀 水分/微量水分測定儀 傾點(diǎn)/凝點(diǎn)/冷濾點(diǎn)/濁點(diǎn)測試儀 蒸餾測定儀 銅片腐蝕/液相銹蝕試驗(yàn)儀 色度/針入度測試儀 液化石油氣密度測定器 折光儀
取樣器
標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
3k4k 標(biāo)油 酸值和堿值標(biāo)樣 單元素金屬有機(jī)標(biāo)樣(無硫) 磨損金屬標(biāo)樣穩(wěn)定劑 基體油和ICP溶劑 金屬添加劑標(biāo)樣 多元素磨損金屬標(biāo)樣 磨損金屬的ICP分析-內(nèi)標(biāo)標(biāo)樣 磨損金屬標(biāo)樣磨損金屬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 高清潔顆粒計數(shù)器專用清洗劑 卡爾費(fèi)休水分專用電解液 濁點(diǎn)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)品 凝固點(diǎn)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)品 烴類含量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)品 苯胺點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)品 電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)品 粘度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 高純硅膠GRACE 閃點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 油中顆粒標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 餾程標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 冷濾點(diǎn)校準(zhǔn)油 水質(zhì)硬度膠囊 化學(xué)試劑
備件耗材
石油專用溫度計
基礎(chǔ)儀器
顆粒度瓶
流體精控
鋼瓶
行業(yè)專用儀器
采樣鋼瓶
標(biāo)準(zhǔn)腐蝕試片
氧含量分析儀
微粒分析儀
標(biāo)油試劑
對萘酚苯指示劑
水質(zhì)硬度測試膠囊
空氣粒子計數(shù)器
清洗劑
濾膜
過濾器

半導(dǎo)體晶圓的潔凈度怎么判定

時間:2022/3/3閱讀:1570
分享:


隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對工藝技術(shù)的要求越來越高,特別是對半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán),其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率,在目前的集成電路生產(chǎn)中,由于圓片表面沾污問題,仍有50%以上的材料被損失掉。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,幾乎每道工序中都需要進(jìn)行清洗,圓片清洗質(zhì)量的好壞對器件性能有嚴(yán)重的影響。正是由于圓片清洗是半導(dǎo)體制造工 藝中最重要、最頻繁的工步,而且其工藝質(zhì)量將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性,所以國內(nèi) 外各大公司、研究機(jī)構(gòu)等對清洗工藝的研究一直 在不斷地進(jìn)行。目前已研制出的圓片清洗技術(shù)有:濕 法化學(xué)清洗、超聲清洗、兆聲清洗、鼓泡清洗、擦洗、高壓噴射法、離心噴射法、流體力學(xué)法、流體動力學(xué)法、干法清洗、微集射束流法、激光束清洗、冷凝噴霧技術(shù)、汽相清洗、非浸潤液體噴射法、在線真空清洗 、RCA 清洗、等離子體清洗、原位水沖洗等。這些方法和技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體圓片的清洗工藝中。

如何判斷晶圓是否達(dá)到一定的清潔度。一個重要的途徑就是判斷清洗晶圓的溶液的潔凈度。PMT-2液體顆粒計數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析,目前是英國普洛帝分析測試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。


會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言