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初步了解無(wú)塵烘烤箱
閱讀：1116發(fā)布時(shí)間：2020-7-24
Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。
設(shè)備簡(jiǎn)介：
1、箱體結(jié)構(gòu)：
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
2、溫控系統(tǒng)：
采用日本“神港”溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自 動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，準(zhǔn)確度±0.3%FS。
訊號(hào)來(lái)源：采用PT100熱電阻±0.5%。
輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
3、完善的安全保護(hù)措施：
漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)
4、選購(gòu)設(shè)備：
可程式溫控器 無(wú)紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
艾德生儀器有限公司主營(yíng)產(chǎn)品：高溫老化房設(shè)備(艾德生)
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