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SGC-1A 橢圓偏振測(cè)厚儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌 港東科技
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 天津市
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更新時(shí)間:2018-04-29 14:23:30瀏覽次數(shù):870

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SGC-1A 橢圓偏振測(cè)厚儀

詳細(xì)介紹

技術(shù)指標(biāo):

 

編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量zui小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°~180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)zui小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機(jī)重量

20kg

 

 

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