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SGC-2 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌 港東科技
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 天津市
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更新時(shí)間:2018-04-28 11:32:15瀏覽次數(shù):825

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橢圓偏振法測(cè)量的原理很早就已提出,相應(yīng)的測(cè)試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新,使得橢圓偏振法成為重要的測(cè)試手段,并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。其中測(cè)量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法Z基本、Z重要的應(yīng)用之一 。

詳細(xì)介紹

儀器特點(diǎn):
  ●儀器采用消光式橢圓偏振方式測(cè)量
  ●精度高、自動(dòng)控制
  ●光源采用氦氖激光,波長(zhǎng)精度高
  ●儀器采用USB接口與電腦連接
  ●配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要
  ●軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求

 

技術(shù)指標(biāo):

編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm~4000nm

2

測(cè)量zui小值

≤1nm

3

鍍膜折射率范圍

1.300~10.000

4

入射角

40°~90° 誤差≤0.05°

5

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°~180°

6

偏振器步進(jìn)角

0.0375°/步

7

測(cè)量精度

±0.5nm(10nm,±0.5nm)

8

光學(xué)中心高度

75mm

9

工作臺(tái)直徑

φ10mm~φ120mm

10

厚度

≤10mm

 


 

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