紫外臭氧消毒機(jī)|美國(guó)Biofore PC440|PC450:
1、間歇式燈泡工作方式。燈和定時(shí)器通過關(guān)閉門來觸發(fā)
2、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV,促進(jìn)快速氧化,去除微量的有機(jī)殘留物。
3、全面UV保護(hù)讓設(shè)備操作更安全
4、操作簡(jiǎn)單:設(shè)定定時(shí)器,打開門,抽出托盤,將元件放在托盤上。將托盤滑入并關(guān)閉門
5、為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省開支,使探針和樣品可重新使用
6、堅(jiān)固耐用,結(jié)構(gòu)緊湊(體積?。?/span>
7、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV,促進(jìn)快速氧化,去除微量的有機(jī)殘留物。
8、室溫操作
ProCleaner紫外臭氧清洗儀紫外臭氧消毒機(jī)|美國(guó)Biofore PC440|PC450應(yīng)用領(lǐng)域:
·預(yù)處理表面圖案化工具
·清潔硅和氮化硅探針
·晶圓清洗
·表面氧化及制備
·提高表面親水性
·表面清洗
·制備薄膜沉積
·紫外光固化
·表面圖案化
·清洗光學(xué)鏡頭
·粘接硅橡膠
·表面消毒
·清潔MEMS器件
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | PC440 | PC450 |
光照尺寸 | 4" x 4" (101.6×101.6mm) |
有效面積: | 16 sq. in. |
工作區(qū)域: | 5" x 5"x1" |
滑行托盤: | 1 |
定時(shí)器: | 機(jī)械定時(shí) | 機(jī)械定時(shí) |
紫外臭氧清洗工作原理:
ProCleaner紫外臭氧清洗儀的核心是低壓石英汞燈,產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生,有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體,比如CO2,H2O等。整個(gè)過程在室溫中進(jìn)行,并且只需要1到幾分鐘完成。
*注1:白色氧化鋁暴露在UV能量下會(huì)變黃。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量, 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會(huì)轉(zhuǎn)化為他原來的顏色。
**注2:清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時(shí)間長(zhǎng)度。在大多數(shù)應(yīng)用,元件溫度可以視為室溫。