•半導(dǎo)體分析光譜儀CryoSAS

CryoSAS是布魯克光譜公司生產(chǎn)的專門用于硅材料分析的一體化的低溫檢測(cè)系統(tǒng)。            
CryoSAS*地將高性能的布魯克FT-IR光譜技術(shù)與現(xiàn)代化與方便實(shí)用的低溫閉循環(huán)致冷系統(tǒng)結(jié)合在一起，擺脫了通常進(jìn)行高靈敏度檢測(cè)時(shí)對(duì)液氦的依賴。CryoSAS的全部組件都采用了*的一體化和人性化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)理念，使得這樣的系統(tǒng)能夠適應(yīng)硅材料生產(chǎn)中的不同使用環(huán)境。

CryoSAS系統(tǒng)的主要指標(biāo)為： 
光譜范圍：1500-280cm-1
半導(dǎo)體分析可安裝九個(gè)樣品的樣品架,樣品的尺寸：zui多可一次安放九個(gè)樣品，樣品的尺寸為：直徑或邊長為10mm的圓形或方形樣品，厚度為2.5~5mm
光譜分辯率：0.5cm-1
優(yōu)化設(shè)計(jì)的光譜儀能夠同時(shí)檢測(cè) III、V族摻雜元素(如硼、磷等淺雜質(zhì)態(tài))在單晶硅中的硅中取代碳,間隙氧含量的測(cè)定等。