我國傳感器微系統(tǒng)技術發(fā)展取得突破性進步

　　6月6日，第16屆固態(tài)傳感器、執(zhí)行器與微系統(tǒng)會議（Transducers’11）在北京開幕，來自美國、德國、日本、法國、英國、西班牙、中國等39個國家和地區(qū)的專家、學者近1500人出席了大會。
　　“如今，物聯(lián)網已被列為國家戰(zhàn)略性新興產業(yè)之一，是新一代信息技術的綜合應用，將在環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療健康、公共安全、能源、交通等諸多領域發(fā)揮重要的作用。”本次大會主席、中國科學院電子學研究所夏善紅研究員介紹，物聯(lián)網主要有感知層、網絡層和應用層三個組成部分，而感知層的支撐技術就是微傳感器與微系統(tǒng)技術。“Transducers’11會議主要研討微傳感器、執(zhí)行器與微系統(tǒng)領域中相關的理論、設計、材料、制造、應用等方面的前沿動態(tài)和關鍵技術，它對我國物聯(lián)網感知層技術的發(fā)展具有重要的推動作用。”
　　近些年，中國在傳感器與微系統(tǒng)技術領域的科研和技術發(fā)展取得了長足的進步，影響力日益提高。Transducers會議錄用的中國大陸論文已從2001年的寥寥2篇增加到本屆會議的74篇。科技部副部長曹健林指出，傳感器、執(zhí)行器與微系統(tǒng)是近年來興起的高科技領域之一，許多國家都把它列為優(yōu)先發(fā)展的關鍵技術。中國自上世紀80年代以來，一直將其列入國家發(fā)展的重要方向之一，先后建立了“傳感技術聯(lián)合國家重點實驗室”、“國家傳感技術工程中心”等*研發(fā)機構。科技部高度重視微納技術的發(fā)展，在863計劃中設有MEMS（微機電系統(tǒng)）專項，建立了若干MEMS加工平臺，重點面向我國國民經濟發(fā)展急需的傳感器與微系統(tǒng)進行研究開發(fā)，取得了一批重要的研究成果，培養(yǎng)了研究隊伍，催生了一批新興的MEMS企業(yè)。
　　據中科院院士王立鼎和西安交大副校長蔣莊德介紹，我國目前活躍在傳感器與微系統(tǒng)技術領域的企業(yè)約有上千家，整個產業(yè)水平在逐步提升。