為什么做清潔度檢測(cè)需要用到偏光
在分析被測(cè)濾膜上的殘留物顆粒時(shí),濾膜上金屬顆粒的表面局部單個(gè)或多個(gè)位置呈現(xiàn)反光,普通明場(chǎng)掃描不能準(zhǔn)確判斷顆粒的大小及數(shù)量。
金屬顆粒:
偏光掃描解決在明場(chǎng)中單個(gè)金屬顆粒表面多個(gè)位置反光造成的數(shù)量統(tǒng)計(jì)不準(zhǔn)確。
顯微鏡使用的光源,其出射光經(jīng)過(guò)線性偏振后再照射到濾膜表面。通過(guò)偏振光物理原理應(yīng)用來(lái)識(shí)別、對(duì)比顆粒在不同偏振光下的圖片,而后鑒別出金屬和非金屬顆粒。
偏光掃描:2次掃描,過(guò)程全自動(dòng)偏光,偏光掃描統(tǒng)計(jì)所有顆粒數(shù)量及測(cè)量尺寸,再明場(chǎng)掃描定性顆粒性質(zhì)(金屬or非金屬),減少誤判。
明場(chǎng)掃描:1次掃描,一個(gè)大金屬顆粒被分解成數(shù)個(gè)金屬顆粒及非金屬顆粒,尺寸和顆粒的數(shù)量。統(tǒng)計(jì)不準(zhǔn)確。