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TESCAN S9000G FIB-SEM雙束電鏡

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更新時(shí)間:2019-10-11 14:50:53瀏覽次數(shù):1033

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TESCAN S9000G FIB-SEM雙束電鏡 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng),適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù),這些任務(wù)要求設(shè)備具有超高分辨率、*的離子光學(xué)系統(tǒng)和納米加工能力。

詳細(xì)介紹

TESCAN S9000G 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng),適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù),這些任務(wù)要求設(shè)備具有超高分辨率、*的離子光學(xué)系統(tǒng)和納米加工能力。TESCAN S9000G的 Triglav™ 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率,特別是在低電壓下;鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)具有電子信號(hào)過(guò)濾能力,為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開(kāi)了全新的篇章。TESCAN S9000G 的 Orage™ 型 FIB 鏡筒提供不僅為納米加工提供了超高精度,還具備很高的離子束流,因此可以滿足大體積加工和分析的需求。 

出色的低電壓離子束分辨率和性能使得 TESCAN S9000G 有能力制備小于 20 nm 的、半導(dǎo)體器件超高質(zhì)量的超薄 TEM 樣品。此外,高達(dá) 100 nA 的大離子束流可以對(duì)生物樣品和材料進(jìn)行位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描,圖像也具有出色的襯度。TESCAN S9000G 使用了全新的 Essence™ 軟件,軟件用戶界面友好,可以滿足各類應(yīng)用需求,可定制的軟件布局以及自動(dòng)化的樣品制備功能,大限度地提升了操作便捷性和工作效率。

 

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