產品簡介
德國徠卡(LEICA) 微分干涉顯微鏡適合2寸到12寸的樣品。徠卡顯微鏡*的微分干涉效果,對LCD液晶 COG及FOG制程中ACF壓合后的導電粒子破裂程度,偏位等狀況進行細微觀察,及時指導您對制程工藝(壓合工藝參數)進行調整,確保產品質量及生產效率。對外延片MOCVD等薄膜缺陷錯位檢查有很高的敏感度,對藍寶石鑲嵌、多晶、顆粒氣泡等內部缺陷檢查,藍寶石腐蝕樣品的腐蝕坑測試,成像及其清晰。
詳細介紹
一、徠卡微分干涉顯微鏡儀器簡介:
德國徠卡(LEICA) 微分干涉顯微鏡適合2寸到12寸的樣品。
徠卡顯微鏡*的微分干涉效果,對LCD液晶 COG及FOG制程中ACF壓合后的導電粒子破裂程度,偏位等狀況進行細微觀察,及時指導您對制程工藝(壓合工藝參數)進行調整,確保產品質量及生產效率。
對外延片MOCVD等薄膜缺陷錯位檢查有很高的敏感度,對藍寶石鑲嵌、多晶、顆粒氣泡等內部缺陷檢查,藍寶石腐蝕樣品的腐蝕坑測試,成像及其清晰。
另外更可使用彩色濾光片 手機屏幕 FPD模組 半導體晶圓片 FPC PCB IC封裝 光盤CD 圖像傳感器CCD CMOS PDA 等多種電子品種的微小缺陷檢測。
二、徠卡微分干涉顯微鏡技術參數:
• 智能型操作, 智能型照明,
• 恒定色溫, 圖像無顏色差別
• 反射光明場, 暗場, 偏光, 微分干涉, 熒光
• 透射光明場, 暗場, 微分干涉
• M32 六位物鏡轉換,手動或電動
• 平場消色差, 平場半復消色差暗場物鏡, 平場復消色差暗場物鏡,
• 可接顯微硬度儀, 繪圖儀, 宏觀儀
• 可接微分干涉臺階儀進行高精度測量
• CCD或照相系統(tǒng),
• 與多種顯微圖像分析軟件共用
• 可升級為其他觀察方法
• 無限遠光路
三、徠卡微分干涉顯微鏡各種型號
DM12000M DM8000M DM6000M DM4000M DM2500M
DM12000M: 可用于12英寸(300MM)樣品檢測??缮壷罸V光用于更高分辨率需要。
DM8000M: 可用于8英寸(200MM)樣品檢測??缮壷罸V光用于更高分辨率需要。
DM6000M/DM4000M/DM2500M: 可用于6英寸(150MM)樣品檢測。
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