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當(dāng)前位置:維特銳(上海)有限公司>>技術(shù)文章>>派克鋼瓶接頭、高頻閥、擺動氣缸產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體行業(yè)用特種氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分為易燃性、毒性或腐蝕性氣體。這類氣體在儲存、輸送及使用過程中,對設(shè)備部件的安全性、可靠性要求更高。
1、派克CGA DISS鋼瓶接頭:
派克漢尼汾旗下的CGA DISS鋼瓶接頭采用316L不銹鋼材質(zhì),內(nèi)牙螺母的螺紋表面做鍍銀處理,增加潤滑性,使其在高扭矩下不被鎖死。鋼瓶接頭本體部分經(jīng)EP電拋光處理,減少顆粒物的產(chǎn)生。
2、VA01高頻閥系列產(chǎn)品
VA01高頻閥系列產(chǎn)品響應(yīng)快速、工作穩(wěn)定,響應(yīng)速度可快至2ms,大大提高生產(chǎn)節(jié)拍;
采用專業(yè)的密封材料和設(shè)計,內(nèi)泄漏量低,性能更穩(wěn)定,壽命更長,可達(dá)5千萬次切換壽命;
發(fā)塵量低、無潤滑油,符合 晶片級純凈度及可靠性的要求,生產(chǎn)更可靠,能有效提高客戶的產(chǎn)品質(zhì)量,適用于電子半導(dǎo)體行業(yè)所需的潔凈室環(huán)境。
此外,產(chǎn)品尺寸小、重量輕、流量大,還可集成針閥以控制真空流量 。該系列產(chǎn)品能夠利用集成式真空系統(tǒng)對氣體進(jìn)行高速、精準(zhǔn)地抓取與釋放(其中VA01RDP33集成了產(chǎn)生真空和破壞真空兩個功能),廣泛用于集成電路、硅晶片、貼片機(jī)等應(yīng)用。
此外,墊片經(jīng)硬度控制及拋光處理,Ra值在10左右。這些工藝使墊片在密封時,在額定扭矩下變形而不損傷接頭。作為早參與CGA DISS標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計和推廣的成員,派克漢尼汾從材質(zhì)、工藝、設(shè)計等方面讓產(chǎn)品更加易用、安全和可靠,降低潛在危險。
3、PRN擺動氣缸
PRN擺動氣缸采用KURODA軸向密封件設(shè)計,減少漏氣量,運行更平穩(wěn),壽命更長;
葉片軸經(jīng)過特殊熱加工,可增強(qiáng)轉(zhuǎn)矩,扭矩更大,不易折斷, 啟動壓力低,適應(yīng)更廣泛的應(yīng)用;
可添加緩沖裝置CRN之類的配件,以提高轉(zhuǎn)速和負(fù)載。
PRN標(biāo)準(zhǔn)型產(chǎn)品包括PRNA1,3,10,20等九個類型供用戶選擇,擺動葉片包括單葉片和雙葉片兩種類型,有多個角度可供調(diào)節(jié),符合晶片切割、繞線機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的應(yīng)用需求。
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