特征

(點擊圖片查看詳細(xì)資料）

• 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作
• 采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布
• 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命
• 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配
• 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作
• 更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度

所需功率

• DC（zui大）1000W
• RF（zui大）500W

zui大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000 V

濺射時腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖

尺寸

• 陽極護套直徑：3.5英寸
• 總長度：14英寸

靶材

• 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
• 厚度: 對于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸
            對于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸
• 靶材利用率：30%
• 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水

• 流速:   0.8 GPM
• 進水溫度:<20 ℃
• 水管:0.25" OD.

可選配件

• 當(dāng)同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭
• 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
   
• 循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L
  

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護