晶圓退火烘箱

無(wú)塵烤箱概述：

    無(wú)塵烤箱、潔凈烤箱。是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈無(wú)塵烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣經(jīng)耐高溫高效空氣過(guò)濾器反復(fù)過(guò)濾，使烘箱工作室內(nèi)快速達(dá)到無(wú)塵狀態(tài)。

    工作室內(nèi)溫度由溫控儀智能控制，具備自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制功能，并附設(shè)有超溫自動(dòng)停電及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。

無(wú)塵工業(yè)烤箱詳細(xì)資料：

一．特點(diǎn)：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100/ Class 10

2.全周氬焊，無(wú)塵電熱器，機(jī)臺(tái)不產(chǎn)微塵；

3.特殊風(fēng)路設(shè)計(jì),熱風(fēng)強(qiáng)壓經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器再經(jīng)導(dǎo)風(fēng)裝置送風(fēng)到工作腔體內(nèi),腔體內(nèi)潔凈度、溫度均勻度十分準(zhǔn)確。

二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)

1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件

2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B

3用途

無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

1.產(chǎn)品名稱及型號(hào)：無(wú)塵烘箱  COL-210

2.主要技術(shù)指標(biāo)：

   2.1無(wú)塵等級(jí)： Class 100/ Class 10;

   2.2溫度范圍： 60～ +300℃；

   2.3溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;

   2.4溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）

    2.5溫控精度：±0.1℃;

    2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。

    2.7 工作尺寸：W600×H600×D500

    外部尺寸： W950×H1510×D1240

    2.8電源：380v , 50Hz，7.5Kw

四、完善的安全保護(hù)措施：

    漏電斷路器、

    控制線路保險(xiǎn)絲裝置、

    超溫防止保護(hù)裝置、

    電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、

    馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、

    機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示

    逆向防止器、

    門安全開(kāi)關(guān)

五、選購(gòu)設(shè)備：

    6.1 可程式溫控器

    6.2六點(diǎn)溫度記錄儀

    6.3三色指示燈

    6.4烘烤架

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