本公司COL-系列無(wú)塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。
技術(shù)參數(shù):
1. 百級(jí)無(wú)塵烤箱型號(hào):COL-2
2. 無(wú)塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃
4. 無(wú)塵烤箱潔凈度:100級(jí);
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動(dòng) 度:±0.5℃
7. 電 源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料:采用SUS304#無(wú)磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細(xì)玻璃棉;
9. 空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機(jī);
10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器;
11. 溫度測(cè)量傳感器:Pt100 鉑電阻;
12. 控制儀表:進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;
13. 超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;
14. 控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/div>
15. 排 氣 口:ф50;
16. 隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。
無(wú)塵烤箱:, 傳真::蔣鑫,
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