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技術(shù)參數(shù) | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr（C）、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr（c）、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q | ||
傳感器 | 測量原理 | 電感式 | |
測量范圍 | 400μm | ||
針尖半徑 | 5μm | ||
針尖材料 | 金剛石 | ||
觸針測力 | 4mN | ||
觸針角度 | 90° | ||
導頭縱向半徑 | 45mm | ||
大驅(qū)動行程 | 19mm | ||
量程和分辨力 | 量程 | 分辨力 | |
±25μm | 0.001μm | ||
±200μm | 0.008μm | ||
濾波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 | ||
取樣長度 | 0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動 | ||
評定長度 | 1L～5L（可選，L為取樣長度） | ||
示值誤差 | ±10% | ||
示值重復(fù)性 | ≤6% | ||
工作環(huán)境 | 溫度：0ºC～40ºC 相對濕度：＜90%RH | ||
外型尺寸及重量 | 主機：155.4mm×75mm×53mm，約580g； 驅(qū)動器：120.5mm×25.5mm×28.5mm，約165g | ||
電源 | 內(nèi)置電池：鋰離子充電電池； 電源適配器：輸入：100V240VAC，50/60Hz； 輸出：9V，3A。 | ||
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