可測晶片直徑(Z大)Ф100mm,方形230×220mm
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
名稱:電阻率測試儀
型號:WSP-06
儀器資料:
1、 電阻率測試儀WSP-06主要技術(shù)指標(biāo):
電源:220V交流
可測晶片直徑(zui大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:電流量程為0.01~1mA連續(xù)可調(diào),誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表:量程:0.1~200mV,zui大分辨率:100μV
電阻率顯示:三位半數(shù)字顯示:小數(shù)點(diǎn)、極性、過載、自動(dòng)顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進(jìn)行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個(gè)字。
測量環(huán)境:溫度23±2℃,相對濕度≤65%
2、WSP-06操作程序:
1、首先連好電源,打開后面板電源開關(guān),電源指示燈亮,表示待機(jī)完畢。
2、校準(zhǔn)設(shè)備:根據(jù)國標(biāo)電流修正系數(shù)表通過厚度調(diào)節(jié)電流來校準(zhǔn)儀器,或通過:厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn),測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)
3、測試:用四探針接觸硅材料,以探針壓下三分之二為準(zhǔn),待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可,
4校驗(yàn):在測試過程中要求2小時(shí)用標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)一次設(shè)備,
3、 針組件;維護(hù)及注意事項(xiàng):
1、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護(hù)主要包括針頭的更換和針頭 的 清理清潔工作
2、維護(hù)后的安裝及維護(hù)過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑(1234)位置排列。