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KW-5-勻膠機
  • KW-5-勻膠機
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貨物所在地:湖北武漢市

更新時間:2024-09-01 21:00:45

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臺式勻膠機:(Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。

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勻膠機技術(shù)參數(shù):
型號:KW-5(臺式)
1,特點是雙轉(zhuǎn)速勻膠機,兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn). 
Ⅰ檔  調(diào)速范圍:500 -1000轉(zhuǎn)/分   Ⅰ檔  勻膠時間:2-18秒 
Ⅱ檔  調(diào)速范圍:1000-5000轉(zhuǎn)/分  Ⅱ檔  勻膠時間:3-60秒
2,進口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準.
3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%  ,膠的均勻性:±3%  .
4,三相電源:380V
5,電機功率:180W  
6,適用:Φ100-Φ200mm(4”~~8”)硅片及其它材料等勻膠. 
7,真空泵抽氣速率   ≥1200升/分  
8,設備尺寸:500×500×460   mm  
勻膠機主要特點:
(一)該設備采用美國良好技術(shù),采用進口配件(韓國定子和轉(zhuǎn)子,美國電機)
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定. 
(三)本勻膠機有兩個轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應的時間分別可調(diào). 
(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當馬達旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級. 
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率. 
(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間.
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.
(九)勻膠機配真空泵使用(KW-5型勻膠機 推薦使用雙級無油環(huán)保真空泵 SML-140型)
行業(yè)應用補充說明:
臺式勻膠機:(Spin   Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
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