為便于國內外科研學者交流納米結構研究成果,共同推動納米加工學科和新技術的蓬勃發(fā)展。2017年6月23日, Quantum Design中國子公司與北京航空航天大學交叉科學研究院進行良好合作,在該院校微納實驗平臺的基礎上舉辦“NanoFrazor 3D納米結構高速直寫技術研討會”,對國內外納米加工技術展開詳細介紹與討論,同時就NanoFrazor Explore 3D納米結構高速直寫設備向國內各地課題組開放良好合作機會。
會議中,Quantum Design中國子公司在Swisslitho廠商及交叉科學研究院老師們的大力支持下,就微納米加工技術,微納器件制備與性能,MEMS/NEMS,光學/光子學等域進行了現(xiàn)場學術交流,Swisslitho廠商技術指導在NanoFrazor納米加工平臺上現(xiàn)場演示了高通量光刻、納米疊加等納米加工工藝操作,畢加索名畫及納米線套刻工藝數(shù)秒呈現(xiàn),引起了大家的大興趣。
NanoFrazor Explore 3D納米結構高速直寫技術是種真正意義上的納米3D圖形加工技術,可以實現(xiàn)多種材質的3D微納結構加工,實現(xiàn)XY軸zui高10nm加工線寬和間距,1nm的Z向精度,廣泛應用于微納光子學,半導體器件,表面等離子激元,MEMS等研究域,并取得多項突出研究成果。感謝北京航空航天大學交叉科學研究院對本次微納研討會成功舉行提供的各項支持,期待這項IBM研發(fā)技術能夠幫助納米直寫域的院校及老師們取得更加突出的科研成果!
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