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勻膠機(jī) 勻膠機(jī)

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  • 型號(hào) CEE-200X
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2015-12-24 10:43:44瀏覽次數(shù):887

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

勻膠機(jī) 勻膠機(jī)擁有30年的勻膠設(shè)備制造歷史,熱板的0.3%的溫度均勻性,和勻膠轉(zhuǎn)速小于0.2rpm轉(zhuǎn)速精度及可重復(fù)性是業(yè)內(nèi)*的標(biāo)準(zhǔn)。擁有多項(xiàng)行業(yè)內(nèi)和標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)不斷把的技術(shù)融入設(shè)備中,將繼續(xù)成為半導(dǎo)體下一代工藝的*者。

詳細(xì)介紹

 

  
型號(hào) CEE-200X勻膠機(jī) 勻膠機(jī)北京 
圖片 299×314 
簡(jiǎn)介 

勻膠機(jī) 勻膠機(jī)擁有30年的勻膠設(shè)備制造歷史,熱板的0.3%的溫度均勻性,和勻膠轉(zhuǎn)速小于0.2rpm轉(zhuǎn)速精度及可重復(fù)性是業(yè)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)。擁有多項(xiàng)行業(yè)內(nèi)和標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)不斷把的技術(shù)融入設(shè)備中,將繼續(xù)成為半導(dǎo)體下一代工藝的者。


型勻膠機(jī)
  的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。

   PC控制系統(tǒng),更好的兼容性可無(wú)限可變編程設(shè)計(jì)。

   7“控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

  on ®/polyethylene ‘密閉碗’設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速12000rpm,16000rpm可選             
  

主要構(gòu)造 
  采用無(wú)刷伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
   機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、*生銹,便于清洗。
   排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
   透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋(丙烯酸材質(zhì)),可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢
     出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

主要性能指標(biāo):
  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
  旋涂程序:無(wú)限可變,每個(gè)步驟可精確到0.1秒
  轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm(16,000rpm可選)
   旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載)
   馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
   轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm
   工藝時(shí)間設(shè)定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
   支持wafer尺寸1cm-200mm
   旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)
   設(shè)備尺寸  13.25” (33.65 cm) W × 19” (48.26 cm) D × 12” (30.48 cm) H

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