電子汽車衡傳感器與智能壓力/差壓變送器

電子汽車衡傳感器與智能壓力/差壓變送器

微電子技術的迅猛發(fā)展，促進了微機械加工技術的日益更新，它已引伸到儀表領域，奠定了現(xiàn)代傳感器技術的基礎，推動著全新的電子汽車衡傳感器和集成化智能變送器的發(fā)展和實用化，現(xiàn)已取得了引人注目的成果。電子汽車衡傳感器與傳統(tǒng)結構型傳感器相比較，在技術和性能上發(fā)生了質的變化，它使傳感器技術向微型化、高度、低功耗、智能化方向邁出了一大步，這標志著檢測傳感器與變送器將發(fā)生一場劃時代的變革。近年來，多種微結構的電子地磅硅傳感器已被開發(fā)出來并投入生產應用，如微型伺服加速度計，微結構加速度開關，微硅諧振式壓力傳感器、微硅復合應變壓力傳感器、微硅質量流量計等。人們預測，采用微機械加工技術可以生產出各種微結構傳感器，在此基礎上再實現(xiàn)傳感器與微處理器的集成化，就可設計出新一代數(shù)字式智能變送器。