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電子汽車衡傳感器與智能壓力/差壓變送器
微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展,促進(jìn)了微機(jī)械加工技術(shù)的日益更新,它已引伸到儀表領(lǐng)域,奠定了現(xiàn)代傳感器技術(shù)的基礎(chǔ),推動(dòng)著全新的電子汽車衡傳感器和集成化智能變送器的發(fā)展和實(shí)用化,現(xiàn)已取得了引人注目的成果。電子汽車衡傳感器與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)型傳感器相比較,在技術(shù)和性能上發(fā)生了質(zhì)的變化,它使傳感器技術(shù)向微型化、高度、低功耗、智能化方向邁出了一大步,這標(biāo)志著檢測(cè)傳感器與變送器將發(fā)生一場(chǎng)劃時(shí)代的變革。近年來,多種微結(jié)構(gòu)的電子地磅硅傳感器已被開發(fā)出來并投入生產(chǎn)應(yīng)用,如微型伺服加速度計(jì),微結(jié)構(gòu)加速度開關(guān),微硅諧振式壓力傳感器、微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器、微硅質(zhì)量流量計(jì)等。人們預(yù)測(cè),采用微機(jī)械加工技術(shù)可以生產(chǎn)出各種微結(jié)構(gòu)傳感器,在此基礎(chǔ)上再實(shí)現(xiàn)傳感器與微處理器的集成化,就可設(shè)計(jì)出新一代數(shù)字式智能變送器。
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