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行業(yè)產(chǎn)品

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[供應(yīng)]CS300型-CS300型質(zhì)量流量控制器(CS300 MASS FLOW CONTROLLER)
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  • CS300型-CS300型質(zhì)量流量控制器(CS300 MASS FLOW CONTROLLER)
貨物所在地:
北京北京市
更新時間:
2023-04-05 21:00:08
有效期:
2023年4月5日 -- 2023年10月5日
已獲點擊:
138
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產(chǎn)品簡介

CS300系列產(chǎn)品特點:
1. 與氣體接觸的零件表面經(jīng)過電化學(xué)拋光處理,粗糙度達到Ra 5μinch。
2. 與氣體接觸的零件表面化學(xué)成分:Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)。
3. 具有壓力補償功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W,C,B型IGS氣路系統(tǒng)

詳細介紹

 

 

 

CS300型質(zhì)量流量控制器(CS300 MASS FLOW CONTROLLER)

便攜式氣體檢測儀
 
水質(zhì)檢測儀

 

類號

CS310C

CS320C

閥類型

Normally Closed or Normally Open

No Valve

Normally Closed or Normally Open

No Valve

流量規(guī)格(N2

(01,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

(01,2,3,5,10,20,30)                  SLM

準(zhǔn)確度

±1% S.P. (35% F.S.)

±0.35% F.S. (35% F.S.)

±0.80% S.P. (30% F.S.)

±0.24% F.S. (30% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時間

0.8sec            0.5sec  optional

工作壓差范圍

(0.050.35)Mpa(10SLM)

(0.10.35)MPa (10SLM)

0.02 MPa

(0.050.35)Mpa(10SLM)

(0.10.35)MPa (10SLM)

0.02 MPa

溫度系數(shù)

Zero: ≤±0.02% F.S./℃; Span: ≤±0.05% F.S./℃

耐壓

3MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

Metal

工作環(huán)境溫度

050

輸入信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

No

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

No

輸出信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

零漂

0.6%F.S. per year without autozero

電源

±11±16 VDC (雙極 +11+28 VDC (單極

表面化學(xué)成分

Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms

表面粗糙度

Ra  5μinch

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

VCR1/4陽接頭;

1.125C型密封接頭

1.125W型密封接頭

1.5B型密封接頭

1.5C型密封接頭

1.5W型密封接頭

電源接頭形式

D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNet male

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

 

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