晶體太陽能電池中的擴(kuò)散工藝
擴(kuò)散是太陽能電池片生產(chǎn)工藝中的核心步驟，主要是通過擴(kuò)散摻雜磷源形成PN結(jié)，PN結(jié)是太陽能電池的核心部分，所以擴(kuò)散工藝步驟是控制太陽能電池品質(zhì)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
對于傳統(tǒng)的常壓擴(kuò)散，主要是采用管口或者管尾進(jìn)氣，通過氮?dú)饬鲗⒘自磶У搅硪欢?，但是常壓下氣體分子自由程比較小，無法保證磷元素均勻的摻雜在硅片上。
作為當(dāng)前主流的低壓工藝擴(kuò)散爐具有*的優(yōu)勢，由于在擴(kuò)散爐工作腔內(nèi)使用真空反應(yīng)環(huán)境（50-200 mbar），氣體分子自由程變大，避免湍流產(chǎn)生，從而提高材料擴(kuò)散方阻均勻性，為晶硅太陽電池效率進(jìn)一步提升奠定了基礎(chǔ)。此外，低壓擴(kuò)散過程中化學(xué)品的利用效率提高，工藝過程中化學(xué)品的用量大幅降低，節(jié)省成本。
低壓擴(kuò)散中用到的化學(xué)反應(yīng)原理：
4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2↑
2P2O5+5Si=5SiO2+4P↓
接下來給你們看兩個低壓擴(kuò)散原理圖：
圖2 工藝氣及載氣通入示意圖
低壓擴(kuò)散工藝中的關(guān)鍵技術(shù)
從上文擴(kuò)散工藝的化學(xué)反應(yīng)原理中可以看出，過程中會有中間產(chǎn)物P2O5的生成，它是磷酸的酸酐，極易吸濕潮解而生產(chǎn)偏磷酸，進(jìn)而生成磷酸，具有很強(qiáng)的腐蝕性，因此對用于不斷抽取含有該腐蝕性工藝氣體的真空泵，提出了很高的耐腐蝕性要求。VACUUBRAND的化學(xué)隔膜泵所有與抽氣介質(zhì)接觸的部件都是由氟塑料或者氟橡膠制成，可以對強(qiáng)酸或者是其他腐蝕性溶劑的起到防護(hù)作用。
三明治夾層結(jié)構(gòu)隔膜；泵頭蓋和加緊盤均采用厚壁、鑄造的氟塑料用以支持穩(wěn)定的金屬內(nèi)核；機(jī)械部件精密剖光；內(nèi)部管路及連接件加工精度高；這些均確保了可重復(fù)的VACUUBRAND品質(zhì)。
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