質(zhì)譜分析方法通常應(yīng)用在化學(xué)分析行業(yè)中，主要測定分子質(zhì)量和相應(yīng)的離子電荷比來分析樣品成分。真空系統(tǒng)是質(zhì)譜儀的主要組成部分，離子源、質(zhì)量分析器和檢測器都是處于真空系統(tǒng)當(dāng)中。比如離子源（如EI源、CI源）中發(fā)射電子的燈絲，在氧氣較多的情況下會燒毀，因而要求燈絲必須在高真空狀態(tài)下工作。另外高真空還有利于樣品的揮發(fā)，減少本底的干擾。總之，在質(zhì)譜測定過程中，凡是有樣品分子和離子通過以及存在的地方都必須抽成高真空。

可以想象一下，如果腔體內(nèi)部不是真空環(huán)境，離子在飛行的過程中就會發(fā)生碰撞，從而導(dǎo)致離子飛行的路徑改變或者發(fā)生碎裂，質(zhì)譜儀就無法分析和檢測離子。

所以，真空環(huán)境成為質(zhì)譜分析的必要條件，二者進(jìn)步是相輔相成的，真空技術(shù)的進(jìn)步推動了質(zhì)譜的發(fā)展，而質(zhì)譜的發(fā)展又促進(jìn)了真空技術(shù)的進(jìn)步。