MAIA3掃描電子顯微鏡多功能探測(cè)器及高空間分辨率，使 MAIA3 型超高分辨掃描電鏡能觀察到樣品精細(xì)的表面細(xì)節(jié)。這對(duì)于納米材料的綜合表征，半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)電子束敏感樣品及未鍍膜的生物樣品等非導(dǎo)電樣品的成像都非常適合。

MAIA3掃描電子顯微鏡

突出特點(diǎn)

Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學(xué)鏡筒

• TriLens™ 物鏡系統(tǒng)：*的電子束無交叉模式與三物鏡相結(jié)合；
• 具有多個(gè) SE 及 BSE 探測(cè)器的探測(cè)系統(tǒng)；
  • TriSE™+TriBE™
• Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV )；
• EquiPower™技術(shù)進(jìn)一步提高電子束的穩(wěn)定性；
• 電子束流高達(dá) 400 nA，并能實(shí)現(xiàn)電子束能量的快速改變；
• 優(yōu)化的鏡筒幾何設(shè)計(jì)大可容納8”晶圓
• 實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)（In-Flight Beam Tracing™)可對(duì)電子束實(shí)時(shí)優(yōu)化；
• 擴(kuò)展的低真空模式，樣品室氣壓能達(dá)到 500 Pa，實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的觀測(cè)；

• TriBE™具有三個(gè) BSE 探測(cè)器，可以選擇不同立體角的信號(hào)進(jìn)行采集。位于鏡筒內(nèi)部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測(cè)器，分別用于檢測(cè)中角及軸向的高角背散射電子，而樣品室的 BSE 探測(cè)器用于探測(cè)低角背散射電子。三個(gè)探測(cè)器可以提供不同襯度的圖像，并且能探測(cè)到低于 200 eV 的低能背散射信號(hào)；
• TriSE™具有三個(gè) SE 探測(cè)器，所有工作模式下二次電子信號(hào)的采集都進(jìn)行了優(yōu)化。位于鏡筒內(nèi)部的 In-Beam SE 探測(cè)器能在短工作距離下采集二次電子，SE ( BDM ) 探測(cè)器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測(cè)器能提供形貌襯度和立體感；
• 電子束減速技術(shù)（BDT）可在低至 50 eV 的低電子束能量下實(shí)現(xiàn)出色的分辨率（選配）。

MAIA3