方阻測試儀的結(jié)構(gòu)及原理

1.KDY1A便攜式電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

   本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。

   它主要由電器測量部份（主機(jī)）及四探針頭組成，需要時(shí)可加配測試架。

   為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及電阻率。樣品測試電流由高精度的恒流源提供，隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對(duì)1～100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不超過±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平。

2、測試儀結(jié)構(gòu)及原理

測試儀主機(jī)由主機(jī)板、前面板、后背板及機(jī)箱組成，數(shù)字表、測試電流換檔開關(guān)、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關(guān)、校準(zhǔn)/測量變換開關(guān)以及電流調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、保險(xiǎn)管及四探針連接插座。機(jī)箱底板上只裝了主機(jī)板。前后面板與主機(jī)板之間的聯(lián)接均采用接插件，便于拆卸維修。

KDY1A型電阻率測試儀的基本原理是恒流源給探頭1.4探針提供穩(wěn)定的測量電流I，由2、3探針測取被測樣品上的電位差V，