四探針電阻率測(cè)試儀參數(shù)：

數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV  靈敏度：100μV  輸入阻抗：1000ΜΩ
                   基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿(mǎn)度）
可測(cè)電阻率范圍：103 —10-3Ω•cm。
可測(cè)方塊電阻范圍：104 —10-2Ω/□。
設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
 流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬(wàn)分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。
電流量程分四檔：100μA、1mA、10mA、100mA。
四探針電阻率測(cè)試儀采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器（＞10萬(wàn)次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。