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德國BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)

時(shí)間:2015-12-28閱讀:222
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德國BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)

德國BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn):

•區(qū)域表面的形貌測量;

•數(shù)秒內(nèi)快速測量;

•粗糙和光滑表面都可測量;

•測量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響;

•產(chǎn)品堅(jiān)固耐用。

BMT WLI Linik

德國BMT WLI Linik干涉儀技術(shù)參數(shù):

•光源                            LED

•測量范圍    (mm)              150

•垂直分辨率(nm)               1

•橫向分辨率(μm)              >0.2

•測量面積    (μm)            90×70            

•工作距離,約(mm)              0.3

•光斑尺寸,約(μm)              0.95

•圖像尺寸(Pixel)               1~10

 

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