產(chǎn)品名稱：ENTEGRIS集成流量控制器InVue6550

產(chǎn)品型號(hào)：InVue6550

產(chǎn)品介紹：

Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計(jì)。 IFC 6550 型設(shè)計(jì)的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制。 視覺(jué)指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷，使用戶能夠集成更多的過(guò)程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計(jì)用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計(jì)用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。

ENTEGRIS集成流量控制器InVue6550 性能特點(diǎn)：

●使用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制

●視覺(jué)指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷

●集成壓力傳感器提供額外的過(guò)程信息

●使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的測(cè)量和控制

●堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定性和長(zhǎng)期可靠性

●設(shè)計(jì)為 60、90 或 120 L/min流速

參數(shù)：

●工作范圍：滿量程流量的10–100%

●流量控制精度：滿刻度的±1%（使用去離子水在23°C[73°]下校準(zhǔn)）

●重復(fù)性：滿量程的±0.5%

●壓力測(cè)量輸出：0–689 kPa（0-100 psig）

●壓力精度：滿量程的±1%

●工作壓力：

103–552千帕（15–80磅/平方英寸）（60升/分鐘，90升/分鐘）

172–552千帕（25–80磅/平方英寸）（120升/分鐘）

●輸出信號(hào)：兩個(gè)4–20 mA電隔離輸出，一個(gè)用于流量，另一個(gè)用于壓力

●響應(yīng)時(shí)間：

≥15磅/平方英寸（60升/分鐘，90升/分鐘）時(shí)<3秒

≥25磅/平方英寸（120升/分鐘）時(shí)<3秒

●非操作超壓限值：827 kPa（120 psig）

●工藝溫度：10–65°C（50–149°F）

●電氣輸入：1.2安培時(shí)為24 VDC（±10%）

●設(shè)定值輸入信號(hào)：4–20 mA，0–10 VDC

●外殼：IP54

●重量：3.2千克（7磅）

●產(chǎn)地：美國(guó)