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SU3500掃描電子顯微鏡
  • SU3500掃描電子顯微鏡
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貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時間:2023-10-16 21:00:07

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高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“*"。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率"的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能"*1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器"*1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。

SU3500掃描電子顯微鏡 特點(diǎn)

  • 低加速電壓觀察時分辨率更高,可更好地觀察樣品zui表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
  • 全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
  • 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2,自動功能縮短*3了大約11秒
  • 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品zui表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”*4
  • 具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能”*4

(*2):和日立SEM S-3400N相比
(*3):根據(jù)觀察條件的不同,時間會有變動
(*4):自選
 

SU3500掃描電子顯微鏡 規(guī)格

 

項目
描述
二次電子分辨率 3.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm高真空模式)
7.0nm(加速電壓=3kV,WD=5mm高真空模式)
背散射電子分辨率 4.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm低真空模式)
10.0nm(加速電壓=5kV,WD=5mm高真空模式)
放大倍率 5 - 300,000倍(底片倍率*5
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6
加速電壓 0.3 - 30kV
可變壓力范圍 6 - 650Pa
zui大樣品尺寸 直徑 200mm
樣品臺 X 0 - 100mm
Y 0 - 50mm
Z 5 - 65mm
R 360°
T -20° - 90°
可觀察區(qū)域 直徑 130mm (旋轉(zhuǎn)并用)
zui大樣品高度 80mm(WD=10mm)
馬達(dá)臺 5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍 預(yù)對中的鎢燈絲
物鏡光闌 4孔可動光闌
探檢測器 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析 WD 10mm(取出角35°)
圖像顯示 操作系統(tǒng) Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知)
圖像顯示模式 全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號混合模式
排氣系統(tǒng) 操作 全自動排氣
渦輪分子泵 210升/秒 × 1
機(jī)械泵 135L/min(162L/min,60Hz)× 1

(*2):以127mm×95mm(圖像尺寸4"×5")的顯示尺寸規(guī)定倍率
(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的顯示尺寸規(guī)定倍率
(*4):Windows®是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標(biāo)

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