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日本SMC鋁制高真空L型閥
  • 日本SMC鋁制高真空L型閥
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日本SMC鋁制高真空L型閥XL輕量化、緊湊的大導(dǎo)度,小小的身體一個(gè)B時(shí)間(幾分鐘的時(shí)間)°C溫度()時(shí)間(幾分鐘的時(shí)間)1201000 30 60 0 30 60歲120100°C溫度()80鋁(套temp.:120°C)不銹鋼(套temp.:120°艾凡角形閥系列高真空XL特征比較與KF25法蘭制服焙烘溫度氟電阻高優(yōu)良的抗氟腐蝕低的新法小重金屬污染r波紋管閥門(mén)加熱器身體2wt身體3問(wèn)艾凡身體1模型大規(guī)模(公斤)一個(gè)(mm)電導(dǎo)(l/s)XLA-16XLA-25XLA-40XLA-50XLA-63XLA-80XLF-100XLF-160XL系列案件常見(jiàn)的系列。

XLA/XLAV(波紋管密封,單一的表演)Particulate-free和潔凈室兼容煽風(fēng)點(diǎn)火類型Pressure-balance機(jī)制XLC/XLCV(波紋管密封,雙動(dòng))Particulate-free和潔凈室兼容煽風(fēng)點(diǎn)火類型Pressure-balance機(jī)制XLF/XLFV(o形環(huán)密封,單一的表演)低氣體夾帶就業(yè)的o形環(huán)密封系統(tǒng)高速度響應(yīng)通過(guò)一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。
日本SMC鋁制高真空L型閥XLG/XLGV(o形環(huán)密封,雙動(dòng))低氣體夾帶就業(yè)的o形環(huán)密封系統(tǒng)高速度響應(yīng)通過(guò)一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。
XLD/XLDV(2-Step控制、單表演)初期排氣閥和主要排氣閥結(jié)合起來(lái)。2-step(流量控制閥)設(shè)計(jì)了一種緊湊系統(tǒng)和減少管道防止顆粒湍流內(nèi)0.9%室在疲憊。
防止泵運(yùn)行時(shí)超載。
初始排氣閥流量可調(diào)。
XLH(波紋管密封、手動(dòng))波紋管式微粒自由及清洗。
壓力平衡機(jī)制允許無(wú)限制排氣的方向。
低驅(qū)動(dòng)力矩(0.5牛頓·米或更少)春天提供標(biāo)準(zhǔn)的密封負(fù)載。
處理高度是一樣的密封圈,當(dāng)閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉。
確認(rèn)指示器開(kāi)啟和關(guān)閉閥門(mén)是標(biāo)準(zhǔn)配置。
波紋管的壓力平衡,XLS(正常關(guān)閉XLS電磁)微粒也會(huì)減少,因?yàn)槟抢餂](méi)有滑動(dòng)金屬部分。
壓力平衡機(jī)制允許無(wú)限制排氣的方向。
控制電源電路的電磁閥驅(qū)動(dòng)已經(jīng)取得了標(biāo)準(zhǔn)。
可以用于便攜式設(shè)備因?yàn)榭諝鉃轵?qū)動(dòng)器是沒(méi)有必要的。
XL系列鋁高真空角閥低的新法成為可能使用一個(gè)低容量泵和也疏散時(shí)間縮短。
這種閥門(mén)不包含等重金屬鎳(鎳)或鉻()和低鉻濺射產(chǎn)量也可幫助重金屬污染zui小化的半導(dǎo)體器件晶圓。
優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性的結(jié)果在均勻溫度為整個(gè)閥體、明顯下降在氣體內(nèi)冷凝閥。
問(wèn)囊括的沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵)的話固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(帶內(nèi)置磁鐵)里德汽車開(kāi)關(guān)(并不適用法蘭尺寸16)汽車開(kāi)關(guān)類型t如何訂購(gòu)象征零D類型西北)滴定(凱西(DN)適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式XLAXLA/XLAV系列鋁高真空角閥正常關(guān)閉/波紋管密封問(wèn)法蘭尺寸大小y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。
安裝的位置-閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門(mén)閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠(EPDM)桶等Kalrez
VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲
復(fù)合不。1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75
三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。
身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化桶等是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的Matsumura石油有限公司。
Kalrez是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的杜邦公司績(jī)效彈性體。
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ULTIC裝甲是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的行業(yè),垂詢。Valqua新日鐵注)尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM試點(diǎn)港方向指示器沒(méi)有指標(biāo)與指標(biāo)沒(méi)有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格(溫度規(guī)格,H2,H3 H0)。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。
例)-M9NL密封材料改變部分和泄漏象征零ABC改變部分沒(méi)有是別的東西,而不是“零”(標(biāo)準(zhǔn)),列表的符號(hào)開(kāi)始以緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例)XLA-16-M9NA-XAN1A注2)注1)值在常溫下,不含氣體滲透。
注2),是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁(yè)。
部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
XLC問(wèn)t y16 M9N一個(gè)你是囊括的鋁高真空角閥雙動(dòng)/波紋管密封XLC/XLCV系列問(wèn)法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。
安裝的位置-閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門(mén)閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)注)尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
象征零汽車開(kāi)關(guān)模型-D-A90(L)D-A93(L)-的話沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵)固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(帶內(nèi)置磁鐵)里德汽車開(kāi)關(guān)(并不適用法蘭尺寸16)汽車開(kāi)關(guān)類型t艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C如何訂購(gòu)XLC象征零D類型西北)滴定(凱西(DN)適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠(EPDM)桶等Kalrez
1349-80/2101-80/0WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75
三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。
身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”(標(biāo)準(zhǔn)),列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例)XLC-16-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有w,ew艾凡泄漏(Pa·立方米/秒或更少)注1)內(nèi)部13×10 - 10(FKM)9注2)注1)值在常溫下,不含氣體滲透。
注2),是指零件數(shù)目的“建構(gòu)”18頁(yè)上的改變部分。部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格(溫度規(guī)格,H2,H3 H0)。加入“L”末端的部件編號(hào)當(dāng)3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。
XLF作出秩序y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。
安裝的位置-閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門(mén)閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C注)尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
象征零前(L)A93(L)M9//汽車開(kāi)關(guān)模型-D-A90(L)D-A93(L)-的話沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵)固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(帶內(nèi)置磁鐵)里德汽車開(kāi)關(guān)(并不適用法蘭尺寸16)汽車開(kāi)關(guān)類型t例)-M9NL汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格(溫度規(guī)格,H2,H3 H0)。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。加入“L”
zui后的部分,當(dāng)數(shù)字3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。
密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠(EPDM)桶等Kalrez
1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75
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身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”(標(biāo)準(zhǔn)),列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
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例)XLF-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有w,ew艾凡泄漏(Pa·立方米/秒或更少)注1)內(nèi)部13×10 - 10(FKM)值在常溫下,不含氣體滲透。
注2),是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分第22頁(yè)。
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注2)訂做的規(guī)格(有關(guān)詳情,請(qǐng)參閱第24頁(yè)至29)20鋁高真空角閥正常關(guān)閉/ o形環(huán)密封XLF/XLFV系列如何訂購(gòu)法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面問(wèn)法蘭尺寸大小162540506380100160艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM指標(biāo)沒(méi)有指標(biāo)試點(diǎn)港方向與指標(biāo)沒(méi)有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面象征零D類型西北)滴定(凱西(DN)適用法蘭16日、法蘭連接式象征EVL AV畝嗨你CAV汞148.5117117 3XLA-16-X65艾凡一個(gè)0問(wèn)2:1r7.5鋁高真空角閥/正常關(guān)閉/ o形環(huán)密封系列XLF定制規(guī)格1請(qǐng)咨詢與SMC詳細(xì)尺寸規(guī)格和交貨。
帶旁路閥(法蘭尺寸:80)(40)(40)(40)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度:500毫米(L型:3000毫米)刮刀(FKM)軸封(FKM)飛行員端口:旁路閥門(mén)調(diào)節(jié)螺母排氣(初始)調(diào)整1毫米/旋轉(zhuǎn)音高:
Rc1/8試點(diǎn)港:
鎖緊螺母平面寬度在13部件沒(méi)有。
122:13456788 - 18勝2負(fù)910身體閥帽組件o形環(huán)六角套筒頭帽螺絲o形環(huán)計(jì)算機(jī)銘板汽車開(kāi)關(guān)指標(biāo)旁路閥門(mén)o形環(huán)o形環(huán)o形環(huán)六角套筒頭帽螺絲A6063指部分沒(méi)有。
M10、l = 60指部分沒(méi)有。
選項(xiàng)選項(xiàng)指部分沒(méi)有。
M4、l = 40描述資料的話o形環(huán)零件號(hào)碼。
密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U1外部密封內(nèi)部密封2:1 ro形環(huán)零件號(hào)碼。
密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U18 - 8勝2負(fù)外部密封內(nèi)部密封外部密封o型注)一層真空油脂(氟油脂:Y-VAC2)應(yīng)用于軸封、刮板和o形環(huán)o型。
B2401-V85VB2401-V85-XN1B2401-V85-XP1B2401-V85-XQ1B2401-V85-XR1B2401-V85-XR2B2401-V85-XR3B2401-V85-XS1B2401-V85-XT1B2401-V85-XU1AS568-045VAS568-045-XN1AS568-045-XP1AS568-045-XQ1AS568-045-XR1AS568-045-XR2AS568-045-XR3AS568-045-XS1AS568-045-XT1AS568-045-XU1B2401-V15VB2401-V15-XN1B2401-V15-XP1B2401-V15-XQ1B2401-V15-XR1B2401-V15-XR2B2401-V15-XR3B2401-V15-XS1B2401-V15-XT1B2401-V15-XU1AS568-025VAS568-025-XN1AS568-025-XP1AS568-025-XQ1AS568-025-XR1AS568-025-XR2AS568-025-XR3AS568-025-XS1AS568-025-XT1AS568-025-XU1AS568-017VAS568-017-XN1AS568-017-XP1AS568-017-XQ1AS568-017-XR1AS568-017-XR2AS568-017-XR3AS568-017-XS1AS568-017-XT1AS568-017-XU1不銹鋼不銹鋼24作出秩序如何訂購(gòu)問(wèn)法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。
安裝的位置-閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門(mén)閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)注)尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
象征零沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵)的話固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(帶內(nèi)置磁鐵)里德汽車開(kāi)關(guān)(并不適用法蘭尺寸16)汽車開(kāi)關(guān)類型t汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格(溫度規(guī)格,H2,H3 H0)。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。
例)-M9NL問(wèn)e r t y uXLGw16 M9N一個(gè)艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面艾凡大面積AV畝嗨你C AVH G你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠(EPDM)桶等Kalrez
VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲復(fù)合不。1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75
三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。
身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°CXLG鋁高真空角閥雙動(dòng)/ o形環(huán)密封XLG/XLGV系列象征零D類型西北)滴定(凱西(DN)適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式法蘭邊密封材料改變部分和泄漏訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”(標(biāo)準(zhǔn)),列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例)XLG-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有w,ew艾凡泄漏(Pa·立方米/秒或更少)注1)內(nèi)部13×10 - 10(FKM)常溫下,不含氣體滲透。
注2),是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”32頁(yè)為改變的部分。
部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
注3)部分e(外部密封)是不可改變規(guī)格為16至25歲。
注2)訂做的規(guī)格(詳情,請(qǐng)參閱第34頁(yè)到43)30作出秩序XLD問(wèn)囊括的如何訂購(gòu)問(wèn)法蘭尺寸大小2540506380艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面象征零D類型西北)滴定(凱西(DN)適用法蘭25法蘭連接式后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊注)25碼的不適用于H2。
r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°Cy數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。
安裝的位置-閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門(mén)閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)象征零前(L)A93(L)M9//汽車開(kāi)關(guān)模型-D-A90(L)D-A93(L)-的話沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵)固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)(帶內(nèi)置磁鐵)里德汽車開(kāi)關(guān)汽車開(kāi)關(guān)類型t例)-M9NL汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格(溫度規(guī)格,H2,H3 H0)。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。加入“L”
zui后的部分,當(dāng)數(shù)字3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。
你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠(EPDM)桶等Kalrez
Chemraz
VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲
三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。
身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化密封材料改變部分和泄漏訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”(標(biāo)準(zhǔn)),列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例)XLD-25-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有魏
注2),是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”頁(yè)47為改變的部分。
部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
注3)的變化,以密封材料的部分號(hào)碼r S閥密封總成是*適用規(guī)格為25歲,40到50。
注2),3)44鋁高真空角閥2-Step控制、單經(jīng)銷商/波紋管密封,o形環(huán)密封帕特。
XLD/XLDV系列XLS 25 - P - 1克XLS - 25 - 5克DTCGDIN終端終端水管Grommet電氣入口95別人(48歲,100伏直流電)24伏直流電起始電壓注)維持電壓是25%的起始電壓。
無(wú)控制電源電源和控制高真空角閥(波紋管壓力平衡,2段電壓開(kāi)關(guān)型)閥門(mén)通徑1625KF16KF25控制電源P與控制電源125100伏交流電200伏交流電24伏直流電電壓G Grommet電氣入口警告(1)如沒(méi)有控制電源(XLS-25 - VDC),開(kāi)始:24/48/100電壓應(yīng)該申請(qǐng)只0.15%到0.2 s,按照規(guī)定的方法(上所注明的線圈)的后面。不斷起始電壓應(yīng)用的原因過(guò)熱的線圈和火??毓呻妷菏?5%的起始電壓(申請(qǐng)書(shū)嗎方法是顯示在后面的電磁線圈)。
開(kāi)始電壓例)電壓6伏直流電0.15%到0.2時(shí)間(s)24伏直流電控股電壓52鋁高真空角閥電磁/波紋管壓力平衡如何訂購(gòu)系列XLS55常見(jiàn)的選擇項(xiàng)目熱水器額定電壓90到125伏交流電加熱器(名義值)的功率WIn-rush /電力消費(fèi)(期權(quán)標(biāo)志)XL-25-200/30XL-40200/40400/70XL-50200/60400/80XL-63400/100600/130XL-80600/150800/180XL-100800/2201200/300XL-1601200/3501600/400H2 100°CH3 120°C注)的電流就In-rush加熱為幾十秒,然后將平息下來(lái)。
請(qǐng)參閱“維修零件”61頁(yè)為進(jìn)一步的細(xì)節(jié)關(guān)于數(shù)量和類型。
1加熱器常見(jiàn)的閥門(mén)加熱器,XLD模型,XLC XLA XLG和XLH,XLF,。
功耗規(guī)格列于下表。
XLXLQD -XVDXGTCYVXMXY3256詞匯密封材料請(qǐng)注意,以下是一般特點(diǎn)和主題改變依靠加工條件。有關(guān)詳情,請(qǐng)與我們manufacturerers密封組件。
粉碎FKM)(新法,低permanent-setting較低和較低的氣體滲透利率,這是的密封材料為高真空。
標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)采用SMC的高真空使用角度三菱電纜行業(yè)閥門(mén)有限公司。(沒(méi)有。1349化合物-80)。
明智的做法是選擇一款造型依靠它的應(yīng)用,提出了一種改進(jìn)的材料復(fù)合(因?yàn)?310-75)從而降低體重減薄率與O2等離子體是可用的。
KalrezKalrez是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的杜邦公司績(jī)效彈性體。
這份材料,perfluoroelastomer(FFKM),具有優(yōu)良的熱和耐化學(xué)腐蝕性能,但它是大的,permanent-setting特別謹(jǐn)慎是必需的。用改進(jìn)后的變化是可得到的等離子體(O2,CF4)和顆粒電阻,所以它選擇類型是明智的基礎(chǔ)上應(yīng)用。
沒(méi)有。4079化合物:標(biāo)準(zhǔn)Kalre*良、氣體和耐熱性。
ChemrazChemraz是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。
這份材料,perfluoroelastomer(FFKM),具有優(yōu)良的化學(xué)物質(zhì)和等離子體電阻值的稍高的耐熱性比FKM。好幾個(gè)不同的Chemraz是可得到的明智的做法是,選擇基于特定的等離子體被用來(lái)和其他條件,等。
桶桶等是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)等的Matsumura石油有限公司。
Perfluoroelastomer 70W號(hào):化合物(FFKM)而未含有金屬填料??傻钟H3 NF3。低顆粒發(fā)生在干燥的工藝條件。
ULTICULTIC裝甲盔甲注冊(cè)商標(biāo)是日本Valqua行業(yè),有限公司。
Fluoro-based橡膠,不含金屬填料。密封這是plasma-resistant材料,具有較低的氣體通量密度和耐熱性。
硅橡膠、硅樹(shù)脂(VMQ)這種材料也相對(duì)便宜,具有良好的等離子體阻力,但它的氣體滲透率高。
可選的密封材料用SMC的高真空角閥三菱電纜行業(yè)是有限責(zé)任公司。(沒(méi)有。1232-70化合物,白色)它有一個(gè)低減肥比、低顆粒污染的發(fā)生在O2等離子體和NH3氣體環(huán)境。
三元乙丙橡膠(Ethylenepropylene橡膠)較低的定價(jià),良好的耐候性、化學(xué)和耐熱性,但沒(méi)有抵抗,一般在把所有的礦物油??蛇x的密封材料所使用的高真空SMC角度三菱電纜行業(yè)閥門(mén)有限公司。(復(fù)合不。
2101-80)耐氨氣體等。
優(yōu)良的物理性能,尤其是有效的運(yùn)轉(zhuǎn)件。
適用于固定和移動(dòng)部分和兼容各種各樣的應(yīng)用。
Chemrazzui干凈的資料中,發(fā)達(dá)的高密度等離子體的樂(lè)器。
方法1軸封波紋管波紋管密封與降低粒子提供干凈的世代和更少的新法。兩大類型:Formedbellows慘叫和Welded-bellows。Formed-bellows少產(chǎn)生灰塵灰塵或提供更高的抵抗。Welded-bellows允許中風(fēng),但長(zhǎng)產(chǎn)生更多的塵埃和提供更少灰塵的抵抗。請(qǐng)注意,忍耐取決于長(zhǎng)度和速度的中風(fēng)。
o形環(huán),等。
由于誘導(dǎo)作用對(duì)氣體的生成和微粒、真空性能略遜于波紋管類型。
然而,高速運(yùn)轉(zhuǎn)是可能的和耐用性比較高。一般來(lái)說(shuō),氟油脂加蓋軸封分。
響應(yīng)時(shí)間/操作時(shí)間的開(kāi)啟閥門(mén)從應(yīng)用的電壓驅(qū)動(dòng)等閥(XL)直至90%的閥門(mén)沖程已經(jīng)完成開(kāi)啟閥門(mén)的響應(yīng)時(shí)間。開(kāi)啟閥門(mén)操作時(shí)間的從一開(kāi)始就表明了時(shí)間的中風(fēng),直到90%的運(yùn)動(dòng)任務(wù)已經(jīng)完成了。這兩種變得更快了操作壓力增加。
閥門(mén)關(guān)閉從切斷了電力的電磁閥的驅(qū)動(dòng)(XL)直至90%的閥門(mén)是中風(fēng)已完成回歸閥門(mén)關(guān)閉響應(yīng)時(shí)間。閥門(mén)關(guān)閉操作時(shí)間的表示從閥門(mén)開(kāi)啟度的時(shí)間回來(lái)直到90%的運(yùn)動(dòng)任務(wù)已經(jīng)完成了。這兩種變慢的操作壓力增加。58XL系列特定產(chǎn)品的預(yù)防措施1一定要讀在處理。
設(shè)計(jì)氣動(dòng)角閥/系列(V),XLC XLA(V),XLD(V),XLF(V),XLG(V)所有模型1。對(duì)于高真空閥門(mén)用于主要的排氣管線死板顯示面板的生產(chǎn)設(shè)備和其他大型制造設(shè)備,XLF(V)或XLG(V)系列、用人o形環(huán)密封型,為改善耐久性、是被推薦的。
2。當(dāng)控制閥門(mén)的回應(yīng),注意到的尺寸和長(zhǎng)度的管道,以及流量的特點(diǎn)電磁閥的工作。
3。工作壓力應(yīng)保持在規(guī)定的范圍內(nèi)。
0.4 - 0.5 MPa是被推薦的。
4。使用范圍內(nèi)操作壓力范圍。
5。驅(qū)動(dòng)的活塞室和波紋管腔[除了XLF(V)/ XLG(V)]能直接連接到大氣中。
請(qǐng)用在一個(gè)環(huán)境中,粉塵排放將不是根本原因問(wèn)題。(請(qǐng)參閱SMC如果釋放塵埃必須避免的。)高溫/類型,XLC XLA XLD XLG,XLF,,1。在案件的氣體,造成大量的存款,熱閥體閥門(mén),以防止礦床。
選擇小心所有模型1。在高濕度環(huán)境,保持閥門(mén)包裝直到時(shí)間安裝。
2。萬(wàn)一與開(kāi)關(guān)和電磁閥,以便確保導(dǎo)線他們有足夠的蕭條的時(shí)候,沒(méi)有任何不合理的力量適用于他們。
3。所以,過(guò)度執(zhí)行管道武力不是用于法蘭部分。萬(wàn)一有振動(dòng)的重的物體或附件,等他們,使轉(zhuǎn)矩、安全不是直接用于法蘭之間。
安裝小心室真空泵波紋管側(cè)閥側(cè)推薦排氣方向[真空泵連接對(duì)波紋管側(cè))所有模型1。是A6063閥體材料、風(fēng)箱也是不銹鋼的316L、及其他金屬密封材料采用不銹鋼304。標(biāo)準(zhǔn)密封材料的真空區(qū)是FKM,即可其他材料的性質(zhì)發(fā)生變化(請(qǐng)參閱“如何訂購(gòu)”)。
使用流體是兼容與材料后確認(rèn)。
2。選擇材料做的沖動(dòng)的壓力管道,和耐熱性為配件,這適合于適用的操作溫度范圍內(nèi)正常工作。
與汽車開(kāi)關(guān)/ XLA模型(V),XLC(V),XLD(V),XLF(V),XLG(V)1。開(kāi)關(guān)部分應(yīng)該是保持在一個(gè)溫度沒(méi)有更大的了超過(guò)60°C。
模型,XLC加熱器,XLD/XLA,XLG,XLF1。當(dāng)使用一個(gè)模型,一個(gè)加熱器(熱敏電阻器),一個(gè)裝置應(yīng)該被安裝,以防止經(jīng)濟(jì)過(guò)熱。
電磁閥/ XLAV模型,XLDV,XLCV,XLGV XLFV,1。為模型,用電磁閥電磁閥的溫度閥門(mén)段也應(yīng)不大于50°C。
警告1。安裝前,清潔表面的法蘭密封,打鼾與乙醇等。
2。有一個(gè)0.1至0.2毫米凹陷的為了保護(hù)法蘭密封表面,它應(yīng)該如何處理,使密封表面并沒(méi)有被損壞。
3。排氣方向在運(yùn)行過(guò)程中,方向的排氣可能是確定的在這種情況下的自由,但是流的地方產(chǎn)生的廢氣、在耐久性下降可能的結(jié)果。
排氣方向下面(圖中波紋管的一面排氣)是被推薦的。
請(qǐng)把所有可用的預(yù)防措施,為設(shè)備的使用壽命是受條件的用法。
管道小心4。正常操作,抗震性允許長(zhǎng)達(dá)30米/ s2(45到250赫茲),但持續(xù)下降振動(dòng)可能引起耐久性。為了避免過(guò)度安排管道振動(dòng)或沖擊的影響。
高溫類型(模型/ XLA XLC XLF,XLD,,,XLG;溫度規(guī)格/ H0,H2,H3)1。在模型與加熱器(熱敏電阻器),小心不要造成的傷害絕緣零件的導(dǎo)線、連接器的部分。
2。設(shè)置熱水器溫度應(yīng)該建立模型沒(méi)有匯票或隔熱。它將改變不同在條件如熱保留措施和供暖其他的管道。一些細(xì)微調(diào)整,針對(duì)的是不可能的。
3。當(dāng)安裝熱水器配件或安裝一個(gè)加熱器、檢查絕緣電阻在實(shí)際的工作溫度。一個(gè)短線路斷路器或保險(xiǎn)絲應(yīng)該安裝。
4。當(dāng)一個(gè)閥門(mén)需要加熱,只有軀體部分應(yīng)該是加熱時(shí),不含蓋部分。
5。當(dāng)一個(gè)加熱器在操作中,整個(gè)閥會(huì)變熱。是小心,不要碰它,因?yàn)槿紵庥檬志蛯?huì)產(chǎn)生。

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