原子熒光光譜儀是較新型X射線熒光光譜儀，具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無標(biāo)半定量方法可以對(duì)各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果度對(duì)某些樣品可以接近定量水平，分析時(shí)間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測(cè)量樣品的較大尺寸要求為直徑51毫米，高40毫米。