高溫老化房是為了達(dá)到滿意的合格率，幾乎所有產(chǎn)品在出廠前都要先藉由老化。

在半導(dǎo)體業(yè)界，器件的老化問題一直存在各種爭論。像其它產(chǎn)品一樣，半導(dǎo)體隨時可能因為各種原因而出現(xiàn)故障，高溫老化房老化就是藉由讓半導(dǎo)體進(jìn)行超負(fù)荷工作而使缺陷在短時間內(nèi)出現(xiàn)，避免在使用早期發(fā)生故障。如果不藉由老化，很多半導(dǎo)體成品由于器件和制造制程復(fù)雜性等原因在使用中會產(chǎn)生很多問題。

在開始使用后的幾小時到幾天之內(nèi)出現(xiàn)的缺陷稱為早期故障，老化之后的器件基本上要求100%消除由這段時間造成的故障。準(zhǔn)確確定高溫老化房老化時間的方法是參照以前收集到的高溫老化房老化故障及故障分析統(tǒng)計數(shù)據(jù)，而大多數(shù)生產(chǎn)廠商則希望減少或者取消老化。

高溫老化房老化制程必須要確保工廠的產(chǎn)品滿足用戶對可靠性的要求，除此之外，它還必須能提供工程數(shù)據(jù)，以便用來改進(jìn)器件的性能。

對于高溫老化房的故障分析：

1、對制冷系統(tǒng)進(jìn)行查漏，用檢漏儀和肥皂水相結(jié)合的方法檢查，發(fā)現(xiàn)一熱氣旁通電磁閥的閥桿裂了約1cm的細(xì)縫。更換此電磁閥，對系統(tǒng)重新充氟，系統(tǒng)運(yùn)行正常。由于上文可以看出，對該故障現(xiàn)象的分析和判斷基本上是有易至難，先“外"后“里"，先“電氣"后“制冷"的脈絡(luò)進(jìn)行分析和判斷的，熟悉和了解試驗箱的原理和工作過程是分析故障判斷故障的基礎(chǔ)。

2、未確定故障原因，結(jié)合試驗箱的控制過程進(jìn)一步確認(rèn)故障原因，該試驗箱擁有兩套制冷機(jī)組。一為主機(jī)組，另一為輔助機(jī)組，在降溫速率較大時，兩組機(jī)組同時工作，在溫度保持階段初期，兩組機(jī)組依然同時工作。待溫度初步穩(wěn)定下來，輔助機(jī)組停止工作，由主機(jī)組來維持溫度的穩(wěn)定。如果主機(jī)組R23泄露，會使主機(jī)組的制冷效果不大，由于降溫過程中，兩機(jī)組同時工作，故沒有溫度穩(wěn)定不住的現(xiàn)象，而指示降溫速率降低。在溫度保持階段，一旦輔助機(jī)組停止工作，主機(jī)組又無制冷作用，試驗箱內(nèi)的空氣就會緩慢上升，當(dāng)溫度上升到一定程度，控制系統(tǒng)就會啟動輔助機(jī)組來降溫，將溫度下降至設(shè)定值(-55℃)附近，然后輔助機(jī)組又停止工作，如此反復(fù)，便會出現(xiàn)如圖3所示的故障現(xiàn)象。至此，已確認(rèn)生產(chǎn)故障的原因是主機(jī)組的低溫(R23)級機(jī)組的制冷劑R23泄漏。

3、電氣系統(tǒng)沒有問題，繼續(xù)檢查制冷系統(tǒng)。首先檢查兩組制冷機(jī)組的低溫(R23)級壓縮機(jī)的排氣和吸氣壓力都較正常值偏低，而且吸氣壓力呈抽空狀態(tài)，說明主制冷機(jī)組的制冷劑量不足。用手摸主機(jī)組R23壓縮機(jī)的排氣和吸氣管路，發(fā)現(xiàn)排氣管路的溫度不高，吸氣管路的溫度也不低(未結(jié)霜)，這也說明了主機(jī)組的R23制冷劑缺乏，系統(tǒng)漏氟。

4、由于是溫度保持不住，觀察制冷壓縮機(jī)在試驗箱運(yùn)行過程中是否能夠啟動，壓縮機(jī)在試驗箱運(yùn)行過程中都能夠啟動，說明從主電源到各壓縮機(jī)的電器線路正常，電器系統(tǒng)方面也沒有問題。

5、高低溫試驗箱能過制冷，說明外部因素冷卻水的問題可以排除。