勻膠機旋涂儀/旋涂儀/勻膠機 型號:DP-100
. 產(chǎn)品應(yīng)用
DP-100型勻膠機(Spin Coater),是新代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備,具有速度度,主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等域的表面涂膜藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物能涂層的制備。
二. 產(chǎn)品特點
1. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
2. 真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作,防止長期使用過程中膠液的侵蝕。
3. 接膠盤為PP材料經(jīng)制作而成,接儲脫離基片的膠液,避免入設(shè)備內(nèi)。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。
4. 旋轉(zhuǎn)臺采用鋁材制作,表面經(jīng)過硬質(zhì)氧化處理,耐摩擦同時避免劃傷基片底。防止膠液的腐蝕。
5. 勻膠過程自動分段程序控制。整個勻膠過程zui多可分十段行,每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可控制、連續(xù)可調(diào)。
6. 4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,更直觀了解勻膠程;
7. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時間”zui多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠成后增加解吸片步驟,“解吸片時間”zui多為99s,確保安停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層成損傷。
8. 采用穩(wěn)定的直流電機及驅(qū)動器,旋轉(zhuǎn)速度采用主動控制方式,區(qū)別于老舊的被動測速控制方式,從而使旋轉(zhuǎn)速度更。
9. 標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。
三. 參數(shù)
1. 旋涂速度:400~8000 rpm
2. 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)度:1rpm
3. 每段加速時間:1~99 s
4. 每段勻膠時間:1~99 s
5. 預(yù)吸片時間:1~99 s
6. 解吸片時間:1~99 s
7. 鍍膜尺寸:5-100mm
8. 真空泵抽氣速率:60L/min