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北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司
主營產(chǎn)品： 奧立龍水質(zhì)分析儀,WTW水質(zhì)分析儀 |
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| 參考價 | 面議 |
- 型號 Chem 20
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 所在地 北京市
更新時間：2022-11-21 18:32:32瀏覽次數(shù)：1116
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微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品，該粒子計數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學式粒子計數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度高的高純度工藝化學品粒子傳感器。
來自化學品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競爭產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計意義。 Chem 20化學顆粒計數(shù)器是非常有用的工具，在化學顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前，便能夠快速檢測化學顆粒源。
特點
新增離線采樣功能
*激光光學和檢測器使檢測化學物質(zhì)的靈敏度達到20 nm
自帶化學流量計用于設(shè)定樣品流量
針對不同折射率的化學品進行監(jiān)測，以提高數(shù)據(jù)可靠性：
Chem 20：適用于折射率較低的化學品
Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數(shù)較高的化學品內(nèi)部泄漏監(jiān)測：在內(nèi)部化學品泄漏時提供報警
低流量監(jiān)測器和報警器，以確保數(shù)據(jù)一致
宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能
本地數(shù)據(jù)顯示
優(yōu)點
實時監(jiān)測20 nm PSL和9 nm Au微粒
監(jiān)測影響良率的粒子（競爭技術(shù)無法達到）
在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移
優(yōu)化化學品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工節(jié)點的整個過程
改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計，加強過程工藝控制
針對不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間
傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信
便捷的在線和離線20nm監(jiān)測
應(yīng)用
化學輸送系統(tǒng)內(nèi)的實時粒子監(jiān)測
流程監(jiān)控點
化學包裝操作監(jiān)控
化學過濾器性能和效率描述
化學處理部件的性能測試
化學品質(zhì)量驗證
