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流量顯示不穩(wěn)定的因素很多,需要確認(rèn)是顯示儀的問題還是控制器的問題。
1、檢查顯示儀:可以將顯示儀單獨檢測,將設(shè)定及流量檢測短接,調(diào)節(jié)設(shè)定旋鈕觀察是否跳動。
2、檢查流量計: 若能排除顯示儀問題則很可能是實際流量控制不穩(wěn)或者流量控制器問題。需要排除周圍是否存在干擾:
1、可能為地線干擾,檢查接地系統(tǒng),注意一點接地;
2、可能為氣源壓強太低或不穩(wěn),需要提高氣源氣壓,穩(wěn)定氣源壓強。
3、可能為空間干擾,可采用適當(dāng)屏蔽,遠(yuǎn)離干擾源,選用屏蔽線的方法。
4、可能為氣體性質(zhì)不同,使用氮氣標(biāo)定同分子量較重的氣體時也可能出現(xiàn)控制不穩(wěn)定現(xiàn)象。
5、可能為污染,如氣源有粉塵,容易液化等應(yīng)在通道前加裝過濾器或
6、可能為氣源內(nèi)阻過大,需要降低氣源內(nèi)阻(大流量時要注意開大閥門,加粗管道,以至并聯(lián)氣瓶,提高氣源供氣能力)。者適當(dāng)加溫。若使用硅烷等特殊氣體,應(yīng)注意管路的密封性和氣源干燥。
7、可能為電路或調(diào)節(jié)閥故障,需要回廠檢修。
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