產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點(diǎn)；

• 光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長精度高；

• 儀器配有生成表、查表以及精確計(jì)算等軟件，方便用戶使用。

規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：

• 測量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；

• 折射率范圍：1-10

• 測量zui小示值：≤1nm

• 入射光波長：632.8nm

• 光學(xué)中心高：80mm

• 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

• 偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°

• 測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：±1nm和±0.01

• 入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：20°- 90°精度為0.05°

• 主機(jī)重量：25kg

成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、計(jì)算軟件

外形尺寸：680*390*320mm

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