3,可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān),可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作.只要選擇觀察方法,就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像.自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行.
4,晶圓搬送機(jī)組合
可以對應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓.新型搬送手臂的采用,實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送,能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求.
5,潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器. 6孔和5孔中心補(bǔ)正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器,采用了新型馬達(dá),實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換.
6,可選的傾斜觀察筒
備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒.可以根據(jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號,或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號.
7,自動載物臺組合
備有對應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺.通過PC控制,可以實現(xiàn)檢查、不良分析功能.
儀器存放及操作環(huán)境,應(yīng)無強(qiáng)烈振動,無光輻射,無腐蝕性液體、氣體,濕度和溫度適宜的潔凈室內(nèi).
顯微鏡使用完畢后,應(yīng)用儀器防塵罩或玻璃罩遮蓋,以避免灰塵.
物鏡應(yīng)存放在物鏡盒中,或?qū)⑿断碌奈?、目鏡放入干燥缸內(nèi).
透鏡表面若有污垢,可用清潔的長纖維脫脂棉或擦鏡紙,沾上少許乙醇和乙醚(分析純)混合液(3:7)擦拭,但是一般狀況下,無專業(yè)技能不能擦拭.
儀器長期使用后應(yīng)注意在各傳動部分加些潤滑脂,使用油脂宜粘度適當(dāng),避免酸性.
儀器結(jié)構(gòu)精密,不宜隨便拆卸,尤其是物鏡和目鏡,如遇故障可送工廠、購買單位或當(dāng)?shù)靥丶s維修部修理.
