干涉顯微鏡 6JA

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一、用途
    本儀器是用來測(cè)量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測(cè)量零件表面刻線，鍍層等深度。
    儀器配以各種附件，還能測(cè)量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對(duì)大型工件表面進(jìn)行測(cè)量。儀器測(cè)量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測(cè)微目鏡和照相方法來評(píng)定▽10～▽14光潔度的表面。
    本儀器適用于廠礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。
二、規(guī)格
 

工作物鏡的數(shù)值孔徑 0.65                 工作臺(tái)升程         5mm

工作距離           0.5mm                X、Y方向移動(dòng)范圍   ≈10mm

0.25mm              旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍       360°

           照相    0.21×0.15mm         儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡高反射率 ≈60%

儀器的放大倍數(shù)目視  500×                低反射率           ≈4%

           照相    168×                可調(diào)變壓器輸入電壓 220V

測(cè)微目鏡放大倍數(shù)    12.5×               輸出電壓           4V～6V

測(cè)微鼓分劃值       0.01mm               儀器外形尺寸       270×160×230mm

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測(cè)量表面光潔度范圍 0.03～1μm（▽10～▽14）半寬度             ▽λ≈100Å